產(chǎn)品執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)

DIN50987，ISO3497，AST568

測(cè)試原理

EDXRF能量色散X熒光光譜法

測(cè)量樣品

固體、液體、粉末

功能

單鍍層和多鍍層測(cè)厚與元素分析

多可分析6層（不包括基層）

鍍液成份分析

高壓發(fā)生器

輸入電壓

24VDC&plun;10%

輸出電壓

0-50kV

輸出電流

0-2.0mA

輸出

0.01%

X射線管

X射線管靶材

W靶、Rh、Mo、Ag、Cr靶材可選

X射線管窗口

Be窗

電氣參數(shù)

50W, 4-50kV,0-1000uA

冷卻方式

油冷卻      

X射線照射方向

從上往下↓

照射范圍

Φ0.1mm

使用壽命

h

探測(cè)器

探測(cè)器類型

硅-PIN半導(dǎo)體探測(cè)器

元素分析范圍

Al¹³-U⁹²

能量分辨率

FWHM<145eV

探測(cè)窗口

鈹窗，窗口面積：25mm²

冷卻方式

熱電制冷

鍍層測(cè)厚與元素分析指標(biāo)

元素分析范圍

Al¹³-U⁹²

測(cè)厚范圍

0.005—35 um

層精密度/準(zhǔn)確度

相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差5%以下（厚度大于0.5um時(shí)）

第二層精密度/準(zhǔn)確度

相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差10%以下（厚度大于0.5um時(shí)）

測(cè)量時(shí)間

10-60s

譜處理系統(tǒng)

處理器類型

全數(shù)字化32-bit DSP

譜通道數(shù)

256，512，1024，2048可供選擇

計(jì)數(shù)率

大于100000cps

能量范圍

500eV-40960eV

時(shí)間

<3%

光路系統(tǒng)和樣品觀測(cè)

準(zhǔn)直器系統(tǒng)

單一固定準(zhǔn)直器Φ0.1mm

對(duì)焦系統(tǒng)

鐳射激光對(duì)焦

樣品觀察系統(tǒng)

300萬像素高清CCD攝像頭，20倍光學(xué)變焦

樣品室

樣品室內(nèi)部空間

（寬×高×深）：455×60×430mm

樣品臺(tái)尺寸

（寬×深）：250×275mm

樣品臺(tái)承載重量

≤5kg

試驗(yàn)樣品尺寸

寬×高×深：440×50×410mm

樣品臺(tái)控制方式

三維程控電動(dòng)樣品臺(tái)

工作臺(tái)移動(dòng)技術(shù)數(shù)據(jù)

X=200&plun;5、Y=200&plun;5、Z=80&plun;5mm

工作臺(tái)移動(dòng)

0.005mm

計(jì)算機(jī)和軟件

控制計(jì)算機(jī)

聯(lián)想品牌機(jī)，2G內(nèi)存，500G硬盤驅(qū)動(dòng)

顯示器

聯(lián)想19寸LCD顯示器

操作系統(tǒng)

WindowsXP

結(jié)果

Word、Excel格式

軟件

鍍層測(cè)厚軟件、元素分析軟件

軟件類型

FP基本參數(shù)法軟件

軟件語(yǔ)言

簡(jiǎn)體中文、繁體中文、英文、其它

譜顯示

自動(dòng)峰定性，KLM標(biāo)記，譜重迭比較

譜處理

總強(qiáng)度，凈強(qiáng)度，背景強(qiáng)度；積，凈面積，多元素?cái)M合，高斯擬合

資料分析

基本參數(shù)，基本譜圖，無標(biāo)樣測(cè)試，峰位修正，底材修正。

重量和尺寸

設(shè)備主體尺寸

寬×高×深：W 503×H635×D790mm

主體重量

約80kg

使用環(huán)境

工作環(huán)境

溫度15-25℃，濕度40-70%RH

電源系統(tǒng)

單相220V&plun;10%，6A.工作電壓在允許范圍內(nèi)

其它

1.不要靠近產(chǎn)生強(qiáng)磁場(chǎng)，電場(chǎng)，高頻等裝置；2.減少振動(dòng)3. 粉塵少，濕度低，無腐蝕性氣體；4. 日光不能直射；5. 作為地震的對(duì)策，要考慮裝置的固定。