去離子水是指除去了呈離子形式雜質(zhì)后的純水。國際標(biāo)準(zhǔn)化組織ISO/TC 147規(guī)定的“去離子”定義為:“去離子水或不地去除離子物質(zhì),主要指采用離子交換樹脂處理方法?!爆F(xiàn)在的工藝主要采用RO反滲透的方法制取。在半導(dǎo)體行業(yè)中,去離子水被稱為“純水”或是“高純水”。
去離子水分類
通常去離子水可以分為4類:
A類:去離子水只要求將水中離子去除一大部分,使水得以凈化,種類去離子水電導(dǎo)率通常在200-10μs;
B類:去離子水電導(dǎo)率通常在1-10μs,屬于食品級別;
C類:去離子水電導(dǎo)率通常在0.1-0.9μs,屬于精細(xì)工業(yè)級別;
D類:去離子水電導(dǎo)率通常在0.07μs以上,屬于電子級別?!?