* 可垂直上下移動
* 恒定負(fù)載的彈簧探針
* 恒定的探針間距
* 可保持的重復(fù)性測試
* 探頭方便更換
* 探針臺頂部可調(diào)整Z軸移動
* 穩(wěn)固的連接線在探針臺后面
* 轉(zhuǎn)接頭可選擇:Banana/BNC/Triaxial Female
* 卡盤可快速移動
* 可以配合加熱吸盤使用
* 卡盤尺寸可以選擇:6英寸、8英寸、12英寸
* 氣動的SR-4可用開關(guān)控制升降
應(yīng)用:
* 表面電阻率測試
* 薄膜切片電阻率測試
* 半導(dǎo)體摻雜特性的測試
* 金屬層厚度的測試
* 測試半導(dǎo)體類型:P型/N型
* 電壓/電流的測試
詳細(xì)說明:
* 卡盤尺寸可選擇:6英寸、8英寸、12英寸;材料;特氟龍
* 探針升降長度:10毫米
* 探針臺Z軸升降為:1微米
* 探針材質(zhì):碳化鎢、鈹銅合金
* 探針距離:40mil、50mil、62.5mil
* 彈簧探針力度:45grams、85grams、180grams
* 探針直徑:40.6微米
規(guī)格:
* 尺寸:220mm長x420mm寬x250mm高
* 重量:20Kg