伺服平臺平臺尺寸:400mmx300 mm,XY移動(dòng)行程:350X270mm,可定做更大行程的工作平臺。
測量光源:精密紅色激光線,照明光源:環(huán)型白色LED照明,測量模式:可編程多處自動(dòng)掃描測量。視場:20X-100X 5檔可調(diào)。
高度測量 0.002mm.高度重復(fù)測量±0.002mm.
攝像機(jī)掃描頻率,60 Field/Sec.掃描范圍多處,任意大小,可編程。
3D 模式:3D 模擬圖,3D數(shù)據(jù)測量。
XY掃描間距 0.005mm-5mm 可任意設(shè)定電動(dòng)。其他測量功能:2維測量,數(shù)據(jù)管理,其他元器件,線路,油墨高度等掃描測量。
操作系統(tǒng) Windows,重量 55 KG.
程序編制功能方便多次重復(fù)掃描,大的SPC統(tǒng)計(jì)分析系統(tǒng)?!?