眾所周知,高純氣體的分析是一個(gè)復(fù)雜的過(guò)程,也是色譜分析的難點(diǎn)之一;不需要高靈敏的檢測(cè)器,還要考慮樣品本身的特性及其背景,如吸附、取樣及分析過(guò)程中是否有空氣混入、系統(tǒng)的密閉性、系統(tǒng)的體積等環(huán)節(jié)。上海華愛(ài)色譜分析技術(shù)有限公司總結(jié)了高純氣體分析過(guò)程中的技術(shù)難點(diǎn),并給出了難點(diǎn)的解決措施,使GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀成為國(guó)內(nèi)的高純氣體分析系統(tǒng),很好的完成了氣體中微量雜質(zhì),是ppb級(jí)的雜質(zhì)的分析。
適用的標(biāo)準(zhǔn):
1、高純氣標(biāo)準(zhǔn)
GB/T 7445-1995《純氫、高純氫、純氫》GB/T 14599-2008《純氧、高純氧和純氧》
GB/T 8979-2008《純氮、高純氮和純氮》GB/T 4842-2006《氬》
GB/T 4844.3-1995《高純氦》GB/T 17873-1999《純氖》
GB/T 5829-2006《氪氣》GB/T 5828-2006《氙氣》
HG/T 3633-1999《純甲烷》GB 10621-2006《食品添加劑液體二氧化碳》
2、電子氣標(biāo)準(zhǔn)
GB/T 16942-2009《電子工業(yè)用氣體氫》GB/T 16943-2009《電子工業(yè)用氣體氦》
GB/T 16944-2009《電子工業(yè)用氣體氮》GB/T 16945-2009《電子工業(yè)用氣體氬》
GB/T 14604-2009《電子工業(yè)用氣體氧》GB/T 14600-2009《電子工業(yè)用氣體氧化氬氮》
GB/T 14601-2009《電子工業(yè)用氣體氨》GB/T 14602-93《電子工業(yè)用氣體氯化氫》
GB/T 14603-2009《電子工業(yè)用氣體》GB/T 18994-2003《電子工業(yè)用氣體高純氯》
GB/T 14851-93《電子工業(yè)用氣體磷化氫》GB/T 17874-1999《電子工業(yè)用氣體三氯化硼》
GB/T 15909-2009《電子工業(yè)用氣體硅烷》GB/T 21287-2007《電子工業(yè)用氣體三氟化氮》
GB/T18867-2002《電子工業(yè)用氣體六氟化硫》
系統(tǒng)配置:
(1)GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀
?。?)氦離子化檢測(cè)器(PDHID)
(3)中心切割系統(tǒng)
?。?)多柱箱系統(tǒng)
?。?)氦氣純化器
(6)標(biāo)準(zhǔn)氣體
?。?)色譜柱
(8)高純氦(純度>99.999%)
?。?)氧吸附與還原系統(tǒng)
?。?0)載氣減壓閥
?。?1)無(wú)體積取樣閥
(12)GC-9560V4.0版反控色譜工作