規(guī)格 6寸(150MM+/-0.2MM) 8寸(200MM+/-0.2MM) 12寸(300MM+/-0.2MM)
厚度 標(biāo)準(zhǔn)厚度(650UM+/- 25UM) 標(biāo)準(zhǔn)厚度(725UM+/- 25UM) 標(biāo)準(zhǔn)厚度(775UM+/- 25UM)
定位方式 平口(Flat) V型(Notch) V型(Notch)
表面狀況 無(wú)劃痕和粘污物 無(wú)劃痕和粘污物 無(wú)劃痕和粘污物
表面處理方式 單面拋光,背面為硅本色。(無(wú)螺紋鏡面) 單面拋光,背面為硅本色。(無(wú)螺紋鏡面) 雙面拋光
邊緣 無(wú)崩邊,隱裂,微裂 無(wú)崩邊,隱裂,微裂 無(wú)崩邊,隱裂,微裂
其他 TTV+TIR+Warp ≤40UM TTV+TIR+Warp ≤40UM TTV+TIR+Warp ≤40UM
包裝 晶圓盒/真裝 晶圓盒/真裝 晶圓盒/真裝
用途:半導(dǎo)體前道劃片工程試機(jī)/磨刀/測(cè)試用,可減少因?yàn)椴划?dāng)操作而造成對(duì)正常晶片的浪費(fèi)。