微機電氣體質(zhì)量流量計
　　工作原理
　　微機電系統(tǒng)（MEMS）芯片傳感技術(shù)，是在硅芯片上集成了具械和電子特性的傳感器。它并不是簡單地將機械和電子功能微縮在芯片上，而是采用了現(xiàn)代材料制作技術(shù)與大規(guī)模集成電路技術(shù)相結(jié)合獲得新的機電特性。微機電系統(tǒng)芯片可實現(xiàn)某些宏觀機電器件所不能的功效。
　　MF系列質(zhì)量流量計采用了本公司生產(chǎn)的熱質(zhì)量氣體流量傳感芯片，屬于質(zhì)量流量傳感方式的流量計，它是通過氣體流動產(chǎn)生的熱場變化來測量氣體流量的。由于不同質(zhì)量的氣體對熱場的變化具有不同的影響，因而，它所測量的流量為質(zhì)量流量。
　　不同于傳統(tǒng)的“熱絲”方式采用了多個熱傳感器及熱源來測量氣體的質(zhì)量流量（風速式熱質(zhì)量流量原理），微機電系統(tǒng)芯片熱質(zhì)量流量傳感器采用了多個熱傳感器和一個微熱源（量熱式熱質(zhì)量流量原理），大大減少了環(huán)境對測量的影響。微機電系統(tǒng)芯片熱質(zhì)量流量傳感器的熱源十分微小，采用式在相對大的流場中，在無氣體流動時，傳感器的熱源對環(huán)境無影響，不會像傳統(tǒng)的熱絲式質(zhì)量流量計那樣造成氣體的對流。因而，微機電系統(tǒng)芯片熱質(zhì)量流量傳感器具有優(yōu)良的點穩(wěn)定性和短的響應(yīng)時間。
　　本流量計主要由電源模塊、MEMS流量傳感芯片、信號處理模塊、A/D轉(zhuǎn)換模塊、EEPROM存儲器、RTC實時時鐘模塊以及顯示模塊組成。
　　
　　技術(shù)指標
　　范圍度＞100：1
　　&plun;（1.0＋0.15FS）%；&plun;（1.5＋0.15FS）%
　　重復(fù)性&plun;0.5%&plun;0.75%
　　工作壓力＜2.5MPa 2.5〜4.0 MPa為定制產(chǎn)品
　　環(huán)境溫度-10-55℃
　　介質(zhì)溫度-20-60℃
　　濕度＜95%RH
　　LCD顯示總量（Nm3），流量（Nm3/h）
　　供電方式 8-24VCD；110/220VAC（適配器供選）
　　校準條件空氣、20℃；101.325KPa；可根據(jù)用戶要求進行實際介質(zhì)標定
　　材料/機械連接不銹鋼；法蘭/NPT/BSPT
　　數(shù)據(jù)存儲可自動存儲數(shù)據(jù)
　　輸出（選項）RS485；4-20mA；脈沖
　　用戶控制（選項）用戶界面軟件
　　護等級 IP65
　　爆等級 Ex ia IIC T4