RCL-52系列小口徑熱式氣體流量計,主要用于對微小氣體的流量精密測量。以小口徑區(qū)別于傳統(tǒng)的熱式氣體質(zhì)量流量計,RCL-56系列具有量程比寬,響應(yīng)時間短,壓力 損耗小,使用方便,價格便宜等特點(diǎn)。RCL-56系列熱式氣體流量計在真空鍍膜 、材料科學(xué) 、微電子工業(yè)、石油 化工、醫(yī)藥、和科學(xué)研究等領(lǐng)域中有著重要的應(yīng)用?!?
二、原理
熱式氣體流量計采用熱擴(kuò)散原理,熱擴(kuò)散技術(shù)是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、性高的技術(shù)。其典型傳感元件包括兩個熱電阻(鉑RTD),一個是速度傳感器,一個是自動補(bǔ)償氣體溫度變化的溫度傳感器。當(dāng)兩個RTD被置于介質(zhì)中時,其中速度傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的一個恒定的溫度,另一個溫度傳感器用于感應(yīng)介質(zhì)溫度。流經(jīng)速度傳感器的氣體質(zhì)量流量是通過傳感元件的熱傳遞量來計算的。氣體流速增加,介質(zhì)帶走的熱量增多。使傳感器溫度隨之降低。為了保持溫度的恒定,則須增加通過傳感器的工作電流,此增加的部分電流大小與介質(zhì)的流速成正比。
三、技術(shù)指標(biāo)
型號:普通型、大流量、高壓型
1、量程
0-10,20,30,50,100,200,300,500mL/min,0-20,0-30,0-50 0-100L/min,0-10mL-10L/min,0-1,2,3,5,10L/min,0-150,0-200,0-250L/min
2、準(zhǔn)確度(%F。S) ±1.5-±2% ±1.5-±2% ±1.5-±2%
3、重復(fù)±0.5% ±0.5% ±0.5%
4、響應(yīng)時間1S 1S 1S
5、工作壓降≌0 ≌0 ≌0
6、耐壓3MPa 3MPa 10MPa
7、工作環(huán)境溫度0~62℃ ,-10~90℃
8、輸出信號4-20mA恒流或1-5VDC
9、供電18-36V DC
10、通徑Φ3,6,8,10,15,20…
11、流速范圍0.05—50米/秒
12、測量介質(zhì)水、純凈氣體或空氣
四、附表:各通徑產(chǎn)品流量對應(yīng)表
通徑 流速0.05—50米/秒 對應(yīng)流量 (立方米/小時)
Φ3 0.0012----1.2717
Φ6 0.0050----5.0868
Φ8 0.0090----9.0432
Φ10 0.01413----14.13
Φ15 0.03179----31.79
Φ20 0.05652----56.52