除了用來判斷半導(dǎo)體材料之型態(tài)(n或p)以外,它也可應(yīng)用于LED磊晶層的質(zhì)量判定,也可以用來判斷在HEMT組件中二維電子氣是否形成,此未還可以用于太陽能電池片的制程輔助。
Hall8800可說是一套大、應(yīng)用廣泛的系統(tǒng),再加上平實(shí)的價(jià)格,相信能受到各界用戶之肯定與愛用。目前廣泛應(yīng)有于臺(tái)灣半導(dǎo)體廠商。
主要特點(diǎn)
1、度電流源
輸出電流之度可達(dá)2nA,如此微小之電流可用于半緣材料之量測(cè),即高電阻值材料之量測(cè)。
2、度電表
使用電表,電壓量測(cè)能力可達(dá)nV等級(jí),上限可達(dá)300V,適合用于量測(cè)低電阻值材料。
3、外型精簡(jiǎn)、操作簡(jiǎn)單
外型輕巧、美觀大方,磁鐵組之性更換也很靈活容易,之液氮容器設(shè)計(jì),可低溫量測(cè)之穩(wěn)定性。
4、I-V曲線
采用圖表的方式,測(cè)量探針?biāo)狞c(diǎn)(A、B、C、D)間電流-電壓曲線,借此評(píng)判樣品的歐姆接觸好壞。
5、單純好用之操作畫面
使用者在同一張操作畫面中,就可以完成的設(shè)定,實(shí)驗(yàn)結(jié)果由軟件自動(dòng)計(jì)算得到,并在同一張畫面中顯示出來,省卻畫面切換的麻煩,結(jié)果可同時(shí)得到體載流子濃度(Bulk Carrier Concentration)、表面載流子濃度(Sheet Carrier Concentration)、遷移率(Mobility)、電阻率(Resistivity)、霍爾系數(shù)(Hall Coefficient)、等重要實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。
6、自行開發(fā)之彈簧樣品夾具,設(shè)計(jì)之彈簧探針,其強(qiáng)度加強(qiáng)可探針與接觸點(diǎn)之電氣接觸,量測(cè)之度。
技術(shù)參數(shù)
磁場(chǎng)強(qiáng)度:0.48T/0.53T/0.65T/1T;
常溫和液氮溫度(77K)下測(cè)量;
輸出電流:2nA-100mA;
遷移率(cm2/Volt-sec):1-107
阻(Ohms.cm):10-5 to 107
載流子濃度(cm-3):107-1021
樣品夾具:Hall8800彈簧樣品夾具(免去制作霍爾樣品的麻煩);
測(cè)量材料:半導(dǎo)體材料包括Si,ZnO,SiGe,SiC,GaAs,InGaAs,InP,GaN(N型&P型均可測(cè)量)
儀器尺寸(WxDxH):400*360*200 mm
儀器重量:12kg