n 產(chǎn)品介紹

μsurf系列產(chǎn)品采用多孔共聚焦技術(shù)，結(jié)合CCD的影像攝取，以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測(cè)器的孔洞，再將物鏡垂直移動(dòng)，以類似斷層攝影方式，可在短時(shí)間(約幾秒)內(nèi)量測(cè)物體的三維數(shù)據(jù)。其測(cè)量方式是非接觸式，不會(huì)破壞樣品的表面，不需要在真空環(huán)境下測(cè)量，也可以用顯微鏡測(cè)量的功能來(lái)觀測(cè)樣本，其在嚴(yán)酷的工作環(huán)境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在測(cè)量漸變較大的高度時(shí)，跟其他方法相比，可以更量測(cè)物體高度，建立3D立體影像，優(yōu)勢(shì)相當(dāng)明顯。

NanoFocus μsurf mobile移動(dòng)式3D測(cè)量系統(tǒng)，適用于對(duì)大型樣品的測(cè)量，所以可以在很多惡劣的環(huán)境下進(jìn)行使用，并且不會(huì)影響到使用壽命。當(dāng)人們還在為測(cè)量物體太過(guò)于龐大而一籌莫展時(shí)，μsurf mobile移動(dòng)式3D測(cè)量系統(tǒng)的橫空出世徹底解決了人們的這個(gè)困惑，該機(jī)臺(tái)不需要移動(dòng)龐大的被測(cè)物體，要帶著便捷的μsurf mobile，放在被測(cè)物體上，就可以在短時(shí)間內(nèi)得出的三維表面形貌。

n 應(yīng)用

μsurf系列用來(lái)測(cè)量表面物理形貌，進(jìn)行微納米尺度的三維形貌分析，如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。μsurf mobile主要對(duì)大型樣品進(jìn)行測(cè)試，在以下幾個(gè)行業(yè)中被眾多企業(yè)廣泛使用：

ü 汽車行業(yè)

ü 印刷和造紙行業(yè)

ü 鋼鐵行業(yè)

n 技術(shù)參數(shù)

LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h

測(cè)量時(shí)間：5~10秒

測(cè)量原理：非接觸、共聚焦、可移動(dòng)，可以檢測(cè)大型的物體

X/Y方向移動(dòng)范圍：50mmX50mm，馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，X/Y方向分辨率：0.3μm

Z方向移動(dòng)范圍：35mm

Z方向測(cè)量范圍：250μm，Z方向分辨率：< 10nm

物鏡：10X、20X、50X、100X(可選)

計(jì)算機(jī)：計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)，大且的軟件，有拼接功能

工作電源：90-265 V, 50-60 Hz, input < 50 W（也可用電池做電源）

材質(zhì)：鋼鐵、橡膠、大理石

外型尺寸：380*110*115mm

重量：5.5KG（震拉桿箱）

潔凈室等級(jí): Capability cl 6 (according to DIN EN ISO 14644)