A.真空系統
1)的一體化集裝式管路系統,采用集裝管路,顯著減少管路連接點,大大降低漏氣率,限真空度。
2)模塊化結構設計,一體式集裝管路,需人工進行連接的部件少,有利于根據用戶需求按需配置及后期功能擴展,有利于維修更換。
3)采用德國的雙級真空泵,噪音小,運行穩(wěn)定,油返功能卓越,限真空度高,可達4x10-2Pa(3x10-4Torr)
B.控制系統
1)采用廣泛應用于工業(yè)控制系統中的可編程控制器電磁閥控制系統,干擾能力強,穩(wěn)定性大大,安裝及拆卸都方便;
2)設計的測試系統管路和樣品處理管路分離結構,樣品處理過程中產生的雜質對測試管路的污染。
C.測試措施
1)采用與同類產品相同品牌的高硅薄膜電容式壓力傳感器,壓力測量為相應讀數的0.15%,遠遠0.15%的全量程(FS)傳感器;
2)與國外同類產品類似,采用0-10Torr和0-1000Torr雙壓力傳感器,對測試范圍內的壓力采用分段測量,大大降低了低真空下的測量誤差,0-10Torr的硅薄膜壓力傳感器遠高于相同量程的皮拉尼電阻真空計(一般誤差為10%-15%);
3)的一體化集裝式管路系統,采用集裝管路,顯著減少管路連接點,大大減少體積空間,有利于降低測量誤差;
4)的步進式液氮面控制系統,測試液氮面相對樣品管位置保持不變,因體積變化引入的測量誤差;
5)設計的抽氣及進氣控制系統,樣品抽真空和進氣過程中的飛濺,測試氣路的清潔和樣品質量失,保護高壓力傳感器免受壓力變可能導致的點和線性漂移。
D.數據采集及處理
1)采用高及高集成度數據采集模塊,連接方便,誤差小,干擾能力;采用業(yè)界標準的485通訊模式,有利于設備擴展和互連,可方便轉換為所需的RS232和U通訊模式;
2)多種理論計算模型數據分析,為用戶提供的材料分析方案;強大的測試數據歸檔保存,查詢系統,有利于用戶數據管理。