獲得的X 向“精密三角梁”設(shè)計(jì)增強(qiáng)了整機(jī)的剛性質(zhì)量比,從而了測量的和運(yùn)行的穩(wěn)定性。
厚重穩(wěn)固的花崗石工作臺(tái)減少了振動(dòng)帶來的響。
燕尾式導(dǎo)軌整體加工在花崗石平臺(tái)上(該技術(shù)獲得),了機(jī)器的和重復(fù)性。
電機(jī)遠(yuǎn)程放置減少了移動(dòng)質(zhì)量,了速度,也避免了電機(jī)發(fā)熱對機(jī)器性能帶來的影響。
獲得的氣動(dòng)平衡設(shè)計(jì),了機(jī)器的測量性能。
采用的高分辨率金質(zhì)光柵尺,其熱膨脹系數(shù)獲得PTB。
控制器固定在主機(jī)一側(cè),便于整體的移動(dòng)。