這款三維形貌儀能夠快速而地測量光滑和粗糙表面的形貌它提供了物理原理上的垂直和橫向分辨率。并且,它配備了自動操作的軟件,能夠2D/3D顯示表面形貌,并具有各種數(shù)學(xué)上的濾波和轉(zhuǎn)換算法??梢越o出表面粗糙度參數(shù),臺階高度參數(shù)和其他表面結(jié)構(gòu)參數(shù)。
應(yīng)用:測量表面形貌,亞微米尺度定量分析,表面粗糙度分析,臺階高度測量。
主要特色:
*橫向分辨率>0.2微米;三維形貌儀,表面形貌儀,表面輪廓儀,三維輪廓儀,光學(xué)輪廓儀,表面形貌測量儀,臺階儀,表面粗糙度儀
*垂直分辨率:1nm;三維形貌儀,表面形貌儀,表面輪廓儀,三維輪廓儀,光學(xué)輪廓儀,表面形貌測量儀,臺階儀,表面粗糙度儀
*測量范圍:100/150微米;
*測量光滑和粗糙表面;三維形貌儀,表面形貌儀,表面輪廓儀,三維輪廓儀,光學(xué)輪廓儀,表面形貌測量儀,臺階儀,表面粗糙度儀
*橫向分辨率約1微米,垂直分辨率由于1納米;
*測量結(jié)果不受樣本的顏色和材質(zhì)影響;三維形貌儀,表面形貌儀,表面輪廓儀,三維輪廓儀,光學(xué)輪廓儀,表面形貌測量儀,臺階儀,表面粗糙度儀
*測量快速,幾秒間可獲得結(jié)果;三維