性能特點(diǎn):
1.SH-200金相顯微鏡采用無(wú)限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng),圖像質(zhì)量好,分辨率更高,觀察更舒適。
2.長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)消色差物鏡,對(duì)焦快捷,適用性更廣,圖像更清晰、像面平坦還原性好。
3.SH-200金相顯微鏡配備了高眼點(diǎn)平場(chǎng)大視野目鏡(視場(chǎng)數(shù)22mm)。
4.照明系統(tǒng)配置了透反射照明器,反射采用LED冷光源,觀察更柔和舒適,壽命更長(zhǎng)。
5.光學(xué)系統(tǒng)內(nèi)置可調(diào)節(jié)視場(chǎng)光欄、孔徑光欄,觀察細(xì)微組織結(jié)構(gòu)更清晰、襯度更好。
6.照明光路可加入起偏鏡和檢偏可進(jìn)行偏光觀察。
應(yīng)用范圍:
1.半導(dǎo)體、IC微電路、芯片、LCD液晶、晶圓片
2.金屬、礦物試樣,表面缺陷。
3.晶體表面紋路。
4.半導(dǎo)體封裝檢查。
5.透明或不透明工業(yè)試樣
其他說(shuō)明
技術(shù)規(guī)格(標(biāo)準(zhǔn)配置) | ||
目鏡 | 大視野WF10X(視場(chǎng)數(shù)Φ 22mm) | |
長(zhǎng)工作距平 場(chǎng)消色差物鏡 |
LWDPlan5X/0.14 工作距離:20.5 mm | |
LWDPlan10X/0.25 工作距離:16.0mm | ||
LWDPlan20X/0.40 工作距離:7.8mm | ||
LWDPlan50X/0.55 工作距離:8.0 mm | ||
目鏡筒 | 30? 傾斜, 瞳距調(diào)節(jié)范圍53~75mm. | |
調(diào)焦機(jī)構(gòu) | 粗微動(dòng)同軸調(diào)焦, 帶鎖緊和限位裝置, 微動(dòng)格值: 1μ m. | |
轉(zhuǎn)換器 | 五孔(內(nèi)向式滾珠內(nèi)定位) | |
載物臺(tái) | 雙層機(jī)械移動(dòng)式載物臺(tái), 外形尺寸: 210mmX140mm, 移動(dòng)范圍: 75mmX50mm. | |
照明系統(tǒng) | 反射照明器 | 低功耗長(zhǎng)壽命3W LED燈,亮度可調(diào) |
照明器 | 6V30W鹵素?zé)?亮度可調(diào) |