性能參數(shù)
　　型號  1010C  2010C  2017C  3017C
　　貨號MF-A  176-662*  176-663*  176-664*  176-665*
　　貨號MF-B  176-682*  176-683*  176-684*  176-685*
　　XY工作臺行程范圍  100*100mm  200*100mm  200*170mm  300*170mm
　　Z軸移動范圍  150mm  150mm  220mm  220mm
　　調(diào)焦方式  手動調(diào)焦（粗調(diào)焦：30mm/rev.，微調(diào)焦：0.2mm/rev.）
　　測量方法  線性編碼器（2軸型：X/Y軸，3軸型：X/Y/Z軸）
　　分辯率（可轉(zhuǎn)換）  0.001mm/0.0005mm/0.0001mm
　　測量（20℃時）  XY軸：（2.5＋0.02L）um，L為無負載測量長度（mm），JI7153
　　指示（20℃時）  Z軸：（5＋0.04L）um，L為測量長度（mm）
　　XY工作臺臺面尺寸  280*280mm  350*280mm  410*342mm  510*342mm
　　載物玻璃尺寸  180*180mm  250*150mm  270*240mm  370*240mm
　　旋轉(zhuǎn)功能  —  —  ±5°（左）  ±5°（左）
　　臺面承重  10kg  20kg  20kg  20kg
　　工件高度  150mm  150mm  220mm  220mm