1、X射線(xiàn)光電子能譜（XPS）
2、俄歇電子能譜（A物質(zhì)的組織成相結(jié)構(gòu)
3、X射線(xiàn)衍射儀（XRD）
4、掃描電子顯微鏡（SEM）
5、X射線(xiàn)能譜儀（EDS）
6、微納米力學(xué)綜合測(cè)試系統(tǒng)
7、電化學(xué)綜合測(cè)試儀
8、輪廓儀
9、金相顯微鏡
10、X射線(xiàn)熒光測(cè)厚儀等
高的表面靈敏度<10nm
檢測(cè)原子序數(shù)大于氦的元素，檢測(cè)限：0.1％
化學(xué)價(jià)態(tài)信息
深度分布
面掃描、線(xiàn)掃描分析
X光管：Cu靶、Co靶
光路：聚焦光路用于體相材料分析，同時(shí)配備高溫樣品臺(tái)，溫度范圍：室溫～1200℃
小角衍射（薄膜樣品）
利用全反射可以測(cè)薄膜厚度
粉末、塊體試樣的物相測(cè)定
晶粒度、點(diǎn)陣常數(shù)測(cè)定
鋼和鑄鐵中殘余奧氏體測(cè)定
表面涂層、滲層物相分析
材料失效與事故分析
飾鑒定
研究材料的高溫相變過(guò)程
薄膜材料的物相結(jié)構(gòu)
2、俄歇電子能譜（A物質(zhì)的組織成相結(jié)構(gòu)
3、X射線(xiàn)衍射儀（XRD）
4、掃描電子顯微鏡（SEM）
5、X射線(xiàn)能譜儀（EDS）
6、微納米力學(xué)綜合測(cè)試系統(tǒng)
7、電化學(xué)綜合測(cè)試儀
8、輪廓儀
9、金相顯微鏡
10、X射線(xiàn)熒光測(cè)厚儀等
高的表面靈敏度<10nm
檢測(cè)原子序數(shù)大于氦的元素，檢測(cè)限：0.1％
化學(xué)價(jià)態(tài)信息
深度分布
面掃描、線(xiàn)掃描分析
X光管：Cu靶、Co靶
光路：聚焦光路用于體相材料分析，同時(shí)配備高溫樣品臺(tái)，溫度范圍：室溫～1200℃
小角衍射（薄膜樣品）
利用全反射可以測(cè)薄膜厚度
粉末、塊體試樣的物相測(cè)定
晶粒度、點(diǎn)陣常數(shù)測(cè)定
鋼和鑄鐵中殘余奧氏體測(cè)定
表面涂層、滲層物相分析
材料失效與事故分析
飾鑒定
研究材料的高溫相變過(guò)程
薄膜材料的物相結(jié)構(gòu)
