技術指標：
>多鍍層，1～4層
>測試：0.01 um
>多次測量重復性誤差<0.1％
>元素分析范圍從鋁(Al)到鈾(U)
>測量時間：10-60秒
>Si-PIN探測器，能量分辨率為149電子伏特
>微焦X射線管50KV/1mA，鎢靶，焦斑尺寸 75um, 壽命大于3萬小時
>7個準直器及6個濾光片自動切換：
客戶可選準直器尺寸或定制尺寸準直器。
(0.1, 0.2, 0.4, 0.5, 1.0,mm 及用于有害物質分析的3個Al、3個Mo)
初級濾光片：Al濾光片，自動切換
>XYZ三維移動平臺
軟件程序控制步進式電機驅動X-Y軸移動大樣品平臺。
激光定位、簡易荷載負載量為5公斤
軟件控制程序進行持續(xù)性自動測量
>高清CCD攝像頭，監(jiān)控位置
- 觀察范圍：3mm x 3mm - 放大倍數(shù)：40X
- 照明方法：上照式 - 軟件控制取得高真圖像
顯示屏上顯示樣品鎖定、簡易荷載、激光定位及拍照功能
>多變量非線性去卷積曲線擬合
>FP/MLSQ分析
> 平臺尺寸 700x580x25 mm
>平臺移動范圍 300(X)x300(Y)x25 (Z)mm
>多鍍層，1～4層
>測試：0.01 um
>多次測量重復性誤差<0.1％
>元素分析范圍從鋁(Al)到鈾(U)
>測量時間：10-60秒
>Si-PIN探測器，能量分辨率為149電子伏特
>微焦X射線管50KV/1mA，鎢靶，焦斑尺寸 75um, 壽命大于3萬小時
>7個準直器及6個濾光片自動切換：
客戶可選準直器尺寸或定制尺寸準直器。
(0.1, 0.2, 0.4, 0.5, 1.0,mm 及用于有害物質分析的3個Al、3個Mo)
初級濾光片：Al濾光片，自動切換
>XYZ三維移動平臺
軟件程序控制步進式電機驅動X-Y軸移動大樣品平臺。
激光定位、簡易荷載負載量為5公斤
軟件控制程序進行持續(xù)性自動測量
>高清CCD攝像頭，監(jiān)控位置
- 觀察范圍：3mm x 3mm - 放大倍數(shù)：40X
- 照明方法：上照式 - 軟件控制取得高真圖像
顯示屏上顯示樣品鎖定、簡易荷載、激光定位及拍照功能
>多變量非線性去卷積曲線擬合
>FP/MLSQ分析
> 平臺尺寸 700x580x25 mm
>平臺移動范圍 300(X)x300(Y)x25 (Z)mm
