OPTO是一套快捷的，非接觸式光學(xué)表面測(cè)量系統(tǒng)。它能在納米，微米，及大尺寸下進(jìn)行光學(xué)形貌及幾何測(cè)量。
　　優(yōu)勢(shì)：
　　◆方便舒適的操作
　　◆快速的數(shù)據(jù)提取
　　◆多樣性測(cè)量方法，的交互式操作
　　◆2D形態(tài)下的微粗糙度值（表面粗糙及缺陷）
　　◆特定區(qū)域內(nèi)，具方向性的粗糙度值（組織，紋理分析）
　　◆2D，3D以及深度剖面的形貌描述
　　
　　應(yīng)用范圍：
　　◆光滑面，粗糙面，曲面的表面粗糙度分析
　　◆大尺寸計(jì)算，微幾何形態(tài)描述，及平坦度控制
　　◆表面控制，例如：滾筒模
　　◆應(yīng)用領(lǐng)域包括：研發(fā)，品質(zhì)生產(chǎn)控制，驗(yàn)收檢驗(yàn)，及損壞分析
　　
　　技術(shù)規(guī)格：
　　傳感器：彩色共焦　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　測(cè)量頻率：100HZ／300HZ（1kHZ）
　　測(cè)量范圍Z：300mm／1mm／2mm　　　　　　　　　　　　　
　　行程XY：60mmⅹ60mm
　　解析度Z：12nm／25nm／75nm　　　　　　　　　　　　　　　
　　速率：0.1bis　10mm／s
　　側(cè)向解析度：1.55mm／2mm／4mm　　　　　　　　　　　　
　　平臺(tái)尺寸：165ⅹ165mm
　　測(cè)量長(zhǎng)度：11mm／12.7mm／16.4mm　　　　　　　　　　　　　　　
　　電腦，軟件，顯示器：LCD　17〞