Aerotech如一的我們的產(chǎn)品性能和服務(wù)能力的附加價(jià)值,我們的座右銘是:Dedicated to the Science of Motion。
Aerotech轉(zhuǎn)臺,aerotech氣浮轉(zhuǎn)臺,aerotech機(jī)械轉(zhuǎn)臺
ABRS精密轉(zhuǎn)臺
ABRS氣浮軸承精密運(yùn)動轉(zhuǎn)臺擁有一個(gè)低矮的外形輪廓,并且能夠提供出眾的角度定位,卓越的速度穩(wěn)定性以及小的運(yùn)動誤差。
ABRS精密轉(zhuǎn)臺的設(shè)計(jì)應(yīng)用于硅片檢測,高測量,激光衍射系統(tǒng),光學(xué)檢測和制造以及納米制造技術(shù)。
特點(diǎn):
1.無刷無槽力矩電機(jī)直接驅(qū)動
2.卓越的速度穩(wěn)定性(無齒槽效應(yīng))
3.的運(yùn)動性能,誤差小,無抖動
4.直連式高圓光柵反饋
5.扁平結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
6.氣浮軸承,無機(jī)械接觸
臺面直徑:128~278mm
反饋分辨率:0.036~0.18 arc sec
雙向重復(fù)定位:<1arc sec
定位: 2 arc sec
異步軸跳: 20nm
異步徑跳: 20nm
ALAR直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺1.5種不同的孔徑尺寸:100mm,150mm,200mm,250mm,325mm
2.持續(xù)或有限的行程
3.300-1000lb的高軸向負(fù)載能力
4.寬大的軸承能提供較高的負(fù)載和負(fù)載能力
5.卓越的和重復(fù)定位
6.抖動和跳動小
7.無接頭電機(jī)提供平滑運(yùn)動
8.無回差效應(yīng)
9.不隨齒輪的磨損而改變
10.每分鐘45-300轉(zhuǎn)的持續(xù)轉(zhuǎn)速
11.負(fù)載須在旋轉(zhuǎn)中心的應(yīng)用的選擇,AZ滾動萬向架應(yīng)用的重要選擇
12.10-6torr真空環(huán)境選項(xiàng)可選
孔徑325mm
&plun;3.9arcsec
負(fù)載6463N
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