品牌：天澤
型號(hào)：VMS-5030
操作方式：程序控制
儀器特點(diǎn)：
該系列大行程全自動(dòng)影像測(cè)量?jī)x采用龍門式結(jié)構(gòu)（橋架式）運(yùn)行性能穩(wěn)定，且機(jī)構(gòu)穩(wěn)定不變形。X、Y、Z三軸均采用伺服電機(jī)、全采用雙重閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制、可電機(jī)在中、動(dòng)動(dòng)時(shí)的穩(wěn)定性，和準(zhǔn)確的定位功能，影像Z軸可自動(dòng)對(duì)焦、配合美國(guó)Nitar自動(dòng)變焦鏡頭，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)變焦而不需倍率校正。
儀器用途：
目前主要運(yùn)用在PCB線路板、覆銅板、平板玻璃、液晶模組、刀模、級(jí)材料等。
型號(hào)：VMS-5030
操作方式：程序控制
儀器特點(diǎn)：
該系列大行程全自動(dòng)影像測(cè)量?jī)x采用龍門式結(jié)構(gòu)（橋架式）運(yùn)行性能穩(wěn)定，且機(jī)構(gòu)穩(wěn)定不變形。X、Y、Z三軸均采用伺服電機(jī)、全采用雙重閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制、可電機(jī)在中、動(dòng)動(dòng)時(shí)的穩(wěn)定性，和準(zhǔn)確的定位功能，影像Z軸可自動(dòng)對(duì)焦、配合美國(guó)Nitar自動(dòng)變焦鏡頭，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)變焦而不需倍率校正。
儀器用途：
目前主要運(yùn)用在PCB線路板、覆銅板、平板玻璃、液晶模組、刀模、級(jí)材料等。
其他說(shuō)明
| 工作臺(tái) | 金屬臺(tái)面尺寸(mm) | 760×640 | 800×550 | 800×800 | 750×1000 | 1140×1360 | 1340×1660 | |||||||||
| 玻璃臺(tái)面尺寸(mm) | 550×350 | 650×450 | 650×650 | 650×850 | 1050×1250 | 1250×1550 | ||||||||||
| 運(yùn)動(dòng)行程(mm) | 500×300 | 600×400 | 600×600 | 600×800 | 1000×1200 | 1200×1500 | ||||||||||
| Z軸升降行程 | 200mm | |||||||||||||||
| 工作距離 | 92mm | |||||||||||||||
| X,Y,Z數(shù)顯解析度 | 0.5μm | |||||||||||||||
| X,Y坐標(biāo)示值誤差 | ≤(3+L/200)μm | |||||||||||||||
| 影像系統(tǒng) |
| |||||||||||||||
| 測(cè)量系統(tǒng) | Mclns全自動(dòng)測(cè)量軟件 | |||||||||||||||
