項目：M3030V型、M3030A
1、流量規(guī)格（N2）：10sccm～30slpm
2、準(zhǔn)確度：±1％F.S（Full Scale）
3、重復(fù)：±0.25％ FS（Full Scale）
4、響應(yīng)時間：≤3sec（要求：≤1sec）
5、耐壓：：95 bar
6、工作環(huán)境溫度：5℃～65℃
7、輸入輸出信號：0～5Vdc or4～20mA
8、電源：15-30Vdc，350mA
9、外形尺寸
總長：依進氣口、出氣口接頭規(guī)格而定
寬：36mm；高：138mm。
1、流量規(guī)格（N2）：10sccm～30slpm
2、準(zhǔn)確度：±1％F.S（Full Scale）
3、重復(fù)：±0.25％ FS（Full Scale）
4、響應(yīng)時間：≤3sec（要求：≤1sec）
5、耐壓：：95 bar
6、工作環(huán)境溫度：5℃～65℃
7、輸入輸出信號：0～5Vdc or4～20mA
8、電源：15-30Vdc，350mA
9、外形尺寸
總長：依進氣口、出氣口接頭規(guī)格而定
寬：36mm；高：138mm。
