的產(chǎn)品上,增加打缐的結(jié)合力與表面改質(zhì)。
低頻率的電源協(xié)助產(chǎn)生較高密度的離子震盪來(lái)更的清潔,使得制程效率更加的。
本系統(tǒng)包含一個(gè)大容量的腔體,可以放置六個(gè)彈匣的電結(jié)構(gòu)以提供客戶大量穩(wěn)定生產(chǎn)使用。
◆操作模式:彈匣批次式置入
◆出且沒(méi)有靜電破壞。
利用中頻產(chǎn)生高密度電漿,并讓清洗更率更均勻。
◆制程應(yīng)用:
-利用物理和化學(xué)的作用,針對(duì)金屬的結(jié)合面作與清洗增加打缐結(jié)合強(qiáng)度
-增加表面能,讓填充與點(diǎn)膠的流動(dòng)性在膠與基板間的結(jié)合性
-利用不同氣體種類可以表面改質(zhì)
◆腔體尺寸:
-寬430 X 深435 X 高610 mm.
◆中空陰電
-6彈匣/每批次
◆高的電源輸出:
-半自動(dòng)匹配調(diào)整輸入能量
-小巧簡(jiǎn)潔式的電源供應(yīng)器
-輸出能量為1000W
◆系統(tǒng):
-保護(hù)電路與螢?zāi)槐O(jiān)控
-低頻輸出端
-腔門戶所開(kāi)關(guān)
-真空測(cè)漏監(jiān)控
-電磁輻射干擾保護(hù)