壓電陶瓷電動機)的運動控制系統(tǒng)具有如下功能和特點:
?。?)定位,分辨率可達1μm,10nm:
?。?)運動速度平穩(wěn),10μm/s,250mm/s:
(3)標準應(yīng)答時間為50~75μs:
?。?)整定時間明顯一般伺服電動機,以0.1μm的分辨率為例,1~2ms,為一般伺服電動機的1/10:
?。?)定位后沒有一般伺服電動機存在的晃動問題:
?。?)重量輕,體積?。?
(7)行程無限制
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