技術(shù)參數(shù):
真空度測量范圍:1x10-1-1x10-5
離子電流測量范圍:1x10-1-1x10-7
測量誤差:<5%測量分辨率:10-5Pa
允許環(huán)境溫度:下20度~50度
空氣濕度:<85%RH
電源:AC220V±50%Hz
外形尺寸:430x300x215(mm)
高壓輸出:脈沖30KV/50KHz
重量:8kg
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