激光調(diào)阻機(jī)的成功研制對(duì)推動(dòng)我國(guó)微電子行業(yè)的產(chǎn)業(yè)升級(jí)起到重要作用。激光調(diào)阻機(jī)是利用激光技術(shù)對(duì)厚、薄膜電路進(jìn)行修調(diào)，以得到高的電阻值或精準(zhǔn)的輸出信號(hào)。公司生產(chǎn)的激光調(diào)阻機(jī)擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，采用高質(zhì)量的激光源和精密的測(cè)量系統(tǒng)，空氣懸浮平面運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，各項(xiàng)性能指標(biāo)水平，是取代產(chǎn)品之。
　　
　　SET507系列技術(shù)參數(shù)：
　　
　　1.激光器系統(tǒng)
　　激光波長(zhǎng)：532nm/355nm
　　激光平均功率：7W
　　典型光斑尺寸：15μm&plun;3μm
　　實(shí)際切口取決于材料、光學(xué)器件和波長(zhǎng)
　　冷卻方式：風(fēng)冷
　　對(duì)焦方式：計(jì)算機(jī)程序控制
　　2.激光束定位系統(tǒng)
　　激光束運(yùn)動(dòng)范圍：50mm X 50mm
　　重復(fù)定位：2μm
　　定位：&plun;5μm
　　激光束小步進(jìn)：0.76μm
　　3.分步重復(fù)機(jī)械運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)
　　運(yùn)動(dòng)方式：空氣懸浮運(yùn)動(dòng)，無(wú)摩擦力
　　運(yùn)動(dòng)范圍：290mm*260mm
　　陶瓷基板尺寸：150mm*150mm（可根據(jù)要求定做）
　　運(yùn)動(dòng)分辨率：1μm
　　重復(fù)：2μm
　　定位：&plun;15μm
　　運(yùn)動(dòng)速度：500mm/s
　　4.測(cè)量系統(tǒng)
　　激勵(lì)方式：電流激勵(lì)
　　恒流源：0.01μA~100mA計(jì)算機(jī)程控選擇
　　電阻測(cè)量方式：四線制加電流測(cè)電壓（可選擇二線制）
　　直流電壓測(cè)量：10mV~10V（滿(mǎn)程電壓）
　　電阻測(cè)量：低阻：<0.05%＋0.5%/R（R<100Ω）
　　中阻：<0.05%
　　高阻：<0.05%＋0.5%R（R>0.1MΩ）
　　電阻測(cè)量范圍：0.1Ω-10MΩ
　　電阻測(cè)量速度：25μs
　　直流電壓分辨率：0.16μV（在10mV滿(mǎn)量程條件下）
　　探針板運(yùn)動(dòng)：計(jì)算機(jī)程序控制
　　5.計(jì)算機(jī)及軟件系統(tǒng)
　　工業(yè)控制計(jì)算機(jī)（雙核），19寸液晶
　　操作系統(tǒng)：Windows XP
　　軟件可編程，界面友好，大
　　軟件系統(tǒng)可升級(jí)和進(jìn)行功能擴(kuò)展
　　6.圖像系統(tǒng)
　　方式：激光同軸
　　視場(chǎng)：2-3mm（對(duì)角線）
　　顯示屏：19寸液晶
　　7.其它技術(shù)指標(biāo)
　　供電電壓：220V AC
　　整機(jī)功耗：1200W
　　
　　激光器的選擇：
　　針對(duì)被修調(diào)電阻材料特性，選擇合適波長(zhǎng)的激光器，可切割效果，對(duì)于金屬薄膜電阻，一般采用532um或355nm短波長(zhǎng)激光可理想效果，有些金屬薄膜電阻也可以采用
　　
　　應(yīng)用和市場(chǎng)：
　　
　　主要應(yīng)用于厚、薄膜電路的精密調(diào)節(jié)。廣泛應(yīng)用于厚膜混合集成電路，電子元器件，汽車(chē)電器，傳感器，科研，片式電阻行業(yè)等。