KS-420太陽能電池片擴(kuò)散爐
　　設(shè)備型號(hào)：KS-420
　　設(shè)備主要特點(diǎn)：
　　緊湊型設(shè)計(jì)
　　標(biāo)準(zhǔn)單臺(tái)四管（三管可選），減少占地面積。
　　閉管磷擴(kuò)散
　　工藝反應(yīng)過程中，工藝片在石英管內(nèi)，Sic槳外置，實(shí)現(xiàn)真正意義上的閉管擴(kuò)散。
　　各種氣體控制流量
　　數(shù)字式MFC的運(yùn)用，比模擬式的控制，還消除了模擬傳輸?shù)母蓴_。工藝生產(chǎn)的穩(wěn)定性。
　　廢氣收集系統(tǒng)
　　帶有廢氣定向回收冷卻裝置，收集后統(tǒng)一從后部排出。
　　氣體噴淋擴(kuò)散工藝
　　POCl3，可采用管內(nèi)噴淋式引入到各反應(yīng)區(qū)域，擴(kuò)散的均勻性。
　　送片方式
　　高定位和穩(wěn)定的軟著陸裝置。采用伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)滾軸絲桿，運(yùn)行平穩(wěn)，無爬行。推舟速度在5-1000mm/min內(nèi)無級(jí)變化。
　　封門系統(tǒng)
　　密封的爐門設(shè)計(jì)，減少爐內(nèi)熱量的損失，并減少了溫度恢復(fù)時(shí)間。與裝載區(qū)隔離，裝載區(qū)無污染，避免操作人員受有毒氣體的損害。
　　自動(dòng)壓力平衡裝置
　　自動(dòng)閉環(huán)壓力控制。實(shí)現(xiàn)壓力平衡自動(dòng)處理。