●度,高,高信賴性
●Z Axis:450mm
●¢Axis:-5°~335°
●RR Axis:1032mm
●RL Axis:1032mm
●負載:MAX.10/each(including Hand)
●反復:0.1mm
●應用:Gl size:2-4Gen(730*920)
wafer/DUT size:8wafer-1Gen(270*360)
半導體,LCD等。
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經營模式:工廠
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