由于低溫泵(冷凝泵)具有無油,對氣體的抽速都較大,是對水蒸汽、H2等抽速很大,適應(yīng),制冷機低速運行,且運動部件很少,有利于長期運行等優(yōu)點。因而,低溫泵(冷凝泵)被廣泛應(yīng)用于IC生產(chǎn)工藝中的蒸發(fā)、濺射、離子注入、分子束外延以及其它諸如粒子加速器、受控?zé)岷朔磻?yīng)、電真空器件、材料科學(xué)、表面分析儀器等領(lǐng)域,以此來獲得清潔的高真空或真空。
I-CRYOGENICS 世界的低溫泵(冷凝泵),其的技術(shù),穩(wěn)定的產(chǎn)品質(zhì)量著真空低溫泵的發(fā)展。冷凝泵的原理是將氣體冷凍結(jié)成霜,從而形成真空;或者氣體冷凍后動能減少,從而用焦碳將其吸附住,形成真空。I-CRYOGENICS 冷凝泵(低溫泵)無論在真空度,性能,維護成本,遠程監(jiān)控功能上都給客戶提供了的解決方案。
I-CRYOGENICS 低溫泵(冷凝泵)產(chǎn)品優(yōu)點:
1.真空度高,無油,合高要求的真空系統(tǒng)的需要
2.泵內(nèi)沒械運動部件,沒有易損件,安裝靈活,無需維護
3.吸水汽的能力強,抽速大;具有遠程監(jiān)控功能
4.On-Board 型冷凝泵具有全自動快速再生功能目前I-CRYOGENICS冷凝泵系列:Cryo-Torr 冷凝泵;On-Board 冷凝泵;On-Board IS 智能冷凝泵?!?