測試內(nèi)容：
?。?）提供樣品表面和內(nèi)部成分分析，可采用氬離子濺射處理，同時可進行剖面A分析；
（2）固體樣品可提供<50oC角度側(cè)傾掃，提供表面2-10nm精細元素分布分析；
?。?）可進行微區(qū)元素分析；
?。?）儀器：0.05eV.應(yīng)用范圍：電子能譜儀主要用于表面的成分分析和表面元素化學(xué)狀態(tài)的分析，
主要使用范圍如下：
?。?）半導(dǎo)體大規(guī)模、規(guī)模集成電路的研究；
（2）冶金工業(yè)：尋求各種表面處理技術(shù)，以獲得材料的性能，如性、高硬度，耐腐蝕性等；
?。?）固體化學(xué)；研究固體的表面吸附，表面反應(yīng)和表面化學(xué)狀態(tài)；
?。?）材料科學(xué)：研究材料表面的成分和結(jié)構(gòu)，探索表面性能。
?。?）提供樣品表面和內(nèi)部成分分析，可采用氬離子濺射處理，同時可進行剖面A分析；
（2）固體樣品可提供<50oC角度側(cè)傾掃，提供表面2-10nm精細元素分布分析；
?。?）可進行微區(qū)元素分析；
?。?）儀器：0.05eV.應(yīng)用范圍：電子能譜儀主要用于表面的成分分析和表面元素化學(xué)狀態(tài)的分析，
主要使用范圍如下：
?。?）半導(dǎo)體大規(guī)模、規(guī)模集成電路的研究；
（2）冶金工業(yè)：尋求各種表面處理技術(shù)，以獲得材料的性能，如性、高硬度，耐腐蝕性等；
?。?）固體化學(xué)；研究固體的表面吸附，表面反應(yīng)和表面化學(xué)狀態(tài)；
?。?）材料科學(xué)：研究材料表面的成分和結(jié)構(gòu)，探索表面性能。
