X射線膜厚測試儀檢測器。X射線檢測器主要由光電管和前置放大器組成。光電管 的陰加有高壓（通常幾百伏）。當(dāng)X射線光子射到光電管的陰時產(chǎn)生電子，在陰電壓的作用下，把陰的每個電子（假設(shè)每放大n個電子）增加到d (d為數(shù)）個電子，即放大管電流，終到達(dá)陽，然后通過前置放大器把管電流放大并轉(zhuǎn)換成電壓形式。

X射線膜厚測試儀簡單地說螢光X射線裝置(XRF)和X射線衍射裝置(XRD)有何不同,螢光X射線裝置(XRF)能得到某物質(zhì)中的元素信息（物質(zhì)構(gòu)成,組成和鍍層厚度）,X射線衍射裝置(XRD)能得到某物質(zhì)中的結(jié)晶信息。
具體地說,比如用不同的裝置測定食鹽(氯化鈉=NaCl)時,從螢光X射線裝置得到的信息為此物質(zhì)由鈉(Na)和氯(Cl)構(gòu)成,而從X射線衍射裝置得到的信息為此物質(zhì)由氯化鈉(NaCl)的結(jié)晶構(gòu)成。單純地看也許會認(rèn)為能知道結(jié)晶狀態(tài)的X射線衍射裝置(XRD)為好,但當(dāng)測定含多種化合物的物質(zhì)時只用衍射裝置(XRD)就很難判定,須先用螢光X射線裝置(XRF)得到元素信息后才能進(jìn)行定性。
膜厚儀也叫X射線測厚儀，它的原理是物質(zhì)經(jīng)X射線或粒子射線照射后，由于吸收多余的能量而變成不穩(wěn)定的狀態(tài)。穩(wěn)定狀態(tài)要回到穩(wěn)定狀態(tài)，此物質(zhì)需將多余的能量釋放出來，而此時是以熒光或光的形態(tài)被釋放出來。熒光X射線鍍層厚度測量儀或成分分析儀的原理就是測量這被釋放出來的熒光的能量及強(qiáng)度，來進(jìn)行定性和定量分析。