x熒光膜厚儀采用X射線管和高壓電源。X射線管裝在一個抽真空后注滿油的全密封的油箱中緣和良好冷卻，高壓等級根據(jù)所造型號不同有所區(qū)別，加上傳感器具有的溫度自動保護與報警功能，了X射線管的穩(wěn)定性和使用壽命。模塊化設計、免維護設計方案及規(guī)范的制造了設備系統(tǒng)高性。
x熒光膜厚儀檢測器。X射線檢測器主要由光電管和前置放大器組成。光電管 的陰加有高壓（通常幾百伏）。當X射線光子射到光電管的陰時產(chǎn)生電子，在陰電壓的作用下，把陰的每個電子（假設每放大n個電子）增加到d (d為數(shù)）個電子，即放大管電流，終到達陽，然后通過前置放大器把管電流放大并轉(zhuǎn)換成電壓形式。
x熒光膜厚儀可測元素范圍：鋁(AL) –鈾(U)。
可測量厚度范圍：原子序22-25，0.1-0.8μm26-40，0.05-35μm43-52，0.1-100μm72-82，0.05-5μm。
自動測量功能：編程測量，自定測量修正，測量功能。
底材修正：已知樣品修正。
定性分析功能：光譜表示，光譜比較。
定量分析功能：合金成份，分析數(shù)據(jù)。
