原料氣：空氣、氫氣、氧氣、氮?dú)?、氬氣、氨氣、二氧化碳、一氧化碳等氣體，≤－40℃?！?
凈化后質(zhì)量指標(biāo)：經(jīng)脫水干燥、≤－90℃，或根據(jù)用戶具體情況而定，經(jīng)后級(jí)凈化，可脫除空氣中硫化物、鹵化物、碳?xì)涞鹊入s質(zhì)，使空氣潔凈要求?！?
操作壓力：輸入≥0.8MPa（壓力愈高愈好），輸出壓力略低于輸入壓力
處量：1—1000Nm³／h
適應(yīng)范圍：實(shí)驗(yàn)室氣體分析、載氣、標(biāo)準(zhǔn)氣／混合氣配氣、半導(dǎo)體材料生產(chǎn)、有色金屬加工、精細(xì)化工。
凈化后質(zhì)量指標(biāo)：經(jīng)脫水干燥、≤－90℃，或根據(jù)用戶具體情況而定，經(jīng)后級(jí)凈化，可脫除空氣中硫化物、鹵化物、碳?xì)涞鹊入s質(zhì)，使空氣潔凈要求?！?
操作壓力：輸入≥0.8MPa（壓力愈高愈好），輸出壓力略低于輸入壓力
處量：1—1000Nm³／h
適應(yīng)范圍：實(shí)驗(yàn)室氣體分析、載氣、標(biāo)準(zhǔn)氣／混合氣配氣、半導(dǎo)體材料生產(chǎn)、有色金屬加工、精細(xì)化工。
