編碼器
的開發(fā)式非接觸反射光柵系統(tǒng)灰塵、劃痕
的內(nèi)置安裝狀態(tài)指示燈光柵尺安裝即使用時無需任何檢測裝置
直線光柵的分辨率為10NM,重復(fù)0.1UM
圓光柵的分辨率0.008角秒,重復(fù)性0.01角秒,外徑從52MM到550MM多種規(guī)格可供用戶選擇
激光干涉儀
穩(wěn)頻:&plun;0.05PPM
線性測量速度可達(dá)4m/s
線性測量范圍:0~80M
線性測量:&plun;0.5PPM(0~40攝氏度)
整個系統(tǒng)小巧