MF管道式工業(yè)氣體質(zhì)量流量計(jì)可測量空氣/氧氣/氮?dú)?氬氣/二氧化碳?xì)?氫氣/天然氣等干凈氣體流量計(jì)，主要用于半導(dǎo)體、化工、冶金、空氣分離、機(jī)械制造等生產(chǎn)線上氣體消耗的內(nèi)部結(jié)算；化工行業(yè)的生產(chǎn)過程用氣的控制測量；冶金、機(jī)械制造行業(yè)中用于焊接燃燒氣體的計(jì)量；食品行業(yè)中用于CO2等氣體的測量等等，管道式傳感器，法蘭連接。
　　
　　工作原理　
　　MF系列工業(yè)氣體質(zhì)量流量計(jì)采用熱質(zhì)量氣體流量傳感芯片，屬于質(zhì)量流量傳感方式的流量計(jì)，它是通過氣體流動產(chǎn)生的熱場變化來測量氣體流量，由于不同質(zhì)量的氣體對熱場的變化具有不同的影響，所以它所測的數(shù)據(jù)為質(zhì)量流量。
　　
　　不同于傳統(tǒng)的“熱傳感器”方式采用了多個熱傳感器和多個熱源來測量氣體的質(zhì)量流量（風(fēng)速式熱質(zhì)量流量原理），MF5000微管氣體質(zhì)量流量計(jì)采用了多個熱傳感器和一個微熱源（量熱式熱質(zhì)量流量原理），大大減少了環(huán)境對測量的影響。MF5000微管氣體質(zhì)量流量計(jì)的熱源十分微小，幾乎不需要時間進(jìn)行加熱。傳感器在相對大的流場中，在無氣體流動時，傳感器的熱源對環(huán)境無影響，不會因此引起氣體對流而導(dǎo)致點(diǎn)變化。所以，MF5000微管氣體質(zhì)量流量計(jì)具有短的響應(yīng)時間和優(yōu)良的點(diǎn)穩(wěn)定性。
　　
　　產(chǎn)品特點(diǎn)
　　1、采用微機(jī)電系統(tǒng)芯片作為傳感器，流量計(jì)的靈敏度高同時具有良好的點(diǎn)穩(wěn)定性；
　　2、單個芯片上實(shí)現(xiàn)多傳感器集成，使該流量計(jì)的量程比大于100：1；
　　3、和傳統(tǒng)的機(jī)械式流量計(jì)比較，壓力損失大幅減小，大的降低了能源消耗；
　　4、采用LCD顯示瞬時流量和累積流量，清晰直觀，讀數(shù)方便；
　　5、本流量計(jì)帶有RS-485通訊模塊，配合計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)可實(shí)現(xiàn)集中管理；
　　6、可以選配4-20mA　DC電流信號輸出；
　　
　　技術(shù)指標(biāo)
　　量程比  ＞100：1
　　  ±（1.0＋0.15FS）%；±（1.5＋0.15FS）%
　　重復(fù)性  ±0.5%
　　工作壓力  ＜2.5MPa　2.5-4.0MPa為定制產(chǎn)品
　　環(huán)境溫度  -10-55℃
　　介質(zhì)溫度  -20-60℃
　　濕度  ＜95%RH
　　LCD顯示  累積流量（0.。999Nm3），瞬時流量（0.000-999999.999Nm3/h）
　　供電電源  8-24VDC
　　校準(zhǔn)條件  空氣，20℃；101.325kPa　可根據(jù)用戶要求進(jìn)行實(shí)際介質(zhì)標(biāo)定
　　材料  不銹鋼
　　連接方式  法蘭
　　數(shù)據(jù)存儲  可自動存儲數(shù)據(jù)
　　通訊方式  RS485
　　輸出信號  4-20mA；脈沖
　　護(hù)等級  IP65
　　爆等級  ExiaII4　
　
　　MF管道式工業(yè)氣體質(zhì)量流量計(jì)可測量空氣/氧氣/氮?dú)?氬氣/二氧化碳?xì)?氫氣/天然氣等清潔氣體的流量，主要用于半導(dǎo)體、化工、冶金、空氣分離、機(jī)械制造等生產(chǎn)線上氣體消耗的內(nèi)部結(jié)算；化工行業(yè)的生產(chǎn)過程用氣的控制測量；冶金、機(jī)械制造行業(yè)中用于焊接燃燒氣體的計(jì)量；食品行業(yè)中用于CO2等氣體的測量等等，管道式傳感器，法蘭連接。