ZS系列是本公司長青系列，自西元1995年底開機(jī)完成至今，己過10年，亦是臺(tái)影像式量測顯微鏡，從機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)、材料變更、加工方式、影像訊號(hào)向上、尋求更佳的照明方式，甚至因應(yīng)客戶需求，在2004年投入量測軟體的研發(fā)。開發(fā)出一套功能完整，操作簡單又人性化的量測軟體。
　　
　　美國NITR鏡頭倍率是0.7~4.5X無段變焦，放大倍率可從28~180X.
　　X、Y平臺(tái)的部品加工程序要求甚嚴(yán)，從多道粗加工到精加工均要求其每道加工的加工量，避免因加工量過大產(chǎn)生太高的加工溫度而造成材料的熱變形及內(nèi)部的加工應(yīng)力，因此可保持的壽命。另外，平臺(tái)的X及Y軸各自為部品，所以平臺(tái)其直角度是可調(diào)整的。本公司產(chǎn)品出廠時(shí)直角度要求在1um/100mm.
　　主體以花崗石為架構(gòu)，各部重要尺寸均要求合DIN00級(jí)規(guī)范，尤其主軸經(jīng)力學(xué)設(shè)計(jì)不會(huì)產(chǎn)生前傾力偶，亦可保垂直度。
　　
　　X-Y軸移動(dòng)范圍（mm）：500×400
　　Z軸移動(dòng)范圍（mm）：130（V）/200
　　光學(xué)尺：RENISHAW 0.4um
　　線性：U1＝3＋（6L/1000）um U2＝4＋（6L/1000）um
　　基座＆主軸：花崗石合DIN00級(jí)
　　主機(jī)重量：520 KG
　　主機(jī)尺寸L×W×H（mm）：1000×1000×1700
　　CCD CAMERA：日本SENTECH 41萬Pixel
　　PROBE（兩機(jī)一體）：VP：英國 RENISHAW MCP接觸式測頭
　　鏡頭：0.7-4.5X（28-180X）
　　表面照明（白光）：LED環(huán)形光（可16分割）
　　輪廓照明（白光）：LED
　　控制量測系統(tǒng)：MI2.5D/3D-CNC
　　驅(qū)動(dòng)：搖桿＆CNC
　　控制方法：X-Y軸可快速移動(dòng)，Z軸手動(dòng)
　　電力供應(yīng)：220/3KVA