儀器特點
　　
　　◆高端配置，精密全自動測量，四軸CNC控制；
　　◆三軸THK精密線性滑軌、精密傳動系統(tǒng)；
　　◆Renishaw開放式光柵尺，高、穩(wěn)定性好；
　　◆Navitar自動變倍光學鏡頭，可實現(xiàn)自動變倍測量；
　　◆全鼠標、手柄操作，簡單易用；
　　◆可程控6環(huán)8區(qū)環(huán)形表面光源，LED輪廓光源，同軸光源；
　　◆自動對焦測高，可加裝接觸式測頭；
　　◆Vispec全自動影像測量軟件（高端版）；
　　◆提供多種行程規(guī)格配置，如222、322、332、432、442、542等。
　　
　　
　　XY軸：E2＝（2.0＋L／300）＆micro；m
　　Z軸：E1＝（3.0＋L／200）＆micro；m
　　重復：XY軸：＜2＆micro；m
　　Z軸：＜3＆micro；m
　　速度：XY軸：200mm／S
　　Z軸：100mm／S
　　光柵尺分辨率：1.0＆micro；m，0.5＆micro；m，0.1＆micro；m（可選）
　　CCD：SONY 1／2"CCD黑白／彩色
　　光源：輪廓光：LED冷光源，256級亮度可調
　　表面光：6環(huán)8區(qū)LED冷光源，各段操控，256級亮度可調
　　同軸光：LED冷光源，256級亮度可調
　　光學系統(tǒng)：Navitar 6.5：1可變倍，放大倍率29～163或58～326
　　軟件：Vispec測量軟件（高端版）
　　運動控制：自主的CNC直流伺服系統(tǒng)
　　保修期：1年
　　工作環(huán)境：溫度20℃±2℃，溫度變化＜2℃／hr，濕度30～80％
　　振動＜0.002g，低于15Hz
　　電源：90～264VAC，47-63Hz，10Amp
　　
　　技術參數(shù)

其他說明

型號	量程(mm)	外部尺寸(mm)	重量(kg)	承重(kg)
VMU322	300×200×200	650×750×1100	140	25
VMU432	400×300×200	750×900×1100	180	25
VMU542	500×400×200	850×1050×1100	220	25