S48　300/HMT數(shù)字流量控制器技術(shù)指標(biāo)
　　編號(hào)  項(xiàng)目  S48　300/HMT
　　1  流量規(guī)格  （10，20，30，50，100，200，300，500）mL/min（1，2，3，5，10，20，30，50）L/min
　　2  調(diào)節(jié)閥類型  電磁調(diào)節(jié)閥
　　3  調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài)  常閉
　　4  安裝角度  任意
　　5  流量控制范圍  2%-100%F.S.
　　6  流量測(cè)量范圍  0-100%F.S.
　　7  響應(yīng)時(shí)間  ≤1　sec
　　8  工作環(huán)境溫度  5-50℃
　　9  溫度  15-35℃
　　10    ±1.0%S.P.（≥30%F.S.）；±0.30%F.S.（＜30%F.S.）
　　11  線性  ±0.5%F.S.
　　12  重復(fù)性  ±0.2%F.S.
　　13  工作壓差  -5L/min（50-300）kPa（D）10L/min-30L/min（100-300）kPa（D）50L/min（150-300）kPa（D）
　　14  耐壓  3MPa（G）
　　15  泄漏率  ＜1×10-8Pa·m3/s（He）
　　16  接觸氣體材料  316L，Viton？？氟橡膠，PTFE
　　17  管路接頭  Swagelok：Φ6mm，Φ10mm，Φ1/4″；VCR：1/4″，3/8″
　　18  供電電源  ±15V（±5%），＋15V，150mA；－15V，200mA
　　19  設(shè)定信號(hào)  數(shù)字：RS485/RS232
　　模擬：0-＋5V，輸入阻＞10kΩ
　　20  流量輸出信號(hào)  數(shù)字：RS485/RS232
　　模擬：0-＋5V，負(fù)載能力≤3mA
　　21  通訊接口  數(shù)字RS232/RS485，波特率4800/9600/19200bps，
　　Modbus　RTU　協(xié)議從機(jī)，設(shè)備號(hào)可選范圍0-15
　　22  重量（kg）  0.9
　　
　　工作原理
　　數(shù)字式質(zhì)量流量控制器由分流器通道，質(zhì)量流量傳感器，信號(hào)放大調(diào)理，信號(hào)采集，流量控制調(diào)節(jié)閥，驅(qū)動(dòng)電路，CPU等部件組成。
　　本流量控制器利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測(cè)量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成，即熱分布式流量計(jì)（Thermal　Profile　Flowmeter）。采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，可以不受溫度壓力的影響。
　　將模擬電壓設(shè)定值送入CPU或者將機(jī)發(fā)來(lái)的數(shù)字設(shè)定值從串口送入CPU，作為設(shè)定值，將傳感器測(cè)得的流量信號(hào)放大送入CPU，作為CPU控制調(diào)節(jié)閥的反饋值。CPU實(shí)時(shí)將設(shè)定值和流量信號(hào)反饋值進(jìn)行數(shù)字化處理，生成控制量，驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)閥逐步開啟到相應(yīng)的開度，直至流量值設(shè)定值。
　　分流器用于在主通道和毛細(xì)管間產(chǎn)生層流，使流過毛細(xì)管流量檢測(cè)通道和流過主通道的氣流成比例。
　　控制調(diào)節(jié)閥為比例電磁閥，隨所加在電磁線圈上的電流大小而相應(yīng)改變閥門開度。
　　S48-300/HMT　MFC可直接與計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)RS232/485連接，采用Modbus　RTU協(xié)議通訊。要用戶提供±15V直流供電，無(wú)需A/D，D/A　轉(zhuǎn)換卡等。
　　S48　300/HMT　MFC同時(shí)兼容模擬設(shè)定輸入，模擬流量信號(hào)輸出，其均為（0～5）V電壓形式，與之配套的MT-51、50系列流量顯示儀備有±15V直流電源供電，3位半數(shù)字流量值顯示，設(shè)定電位器，外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。