產(chǎn)品簡(jiǎn)介
的一體化設(shè)計(jì)，具有優(yōu)異的光學(xué)成像質(zhì)量，方便使用的正像光學(xué)系統(tǒng)，是理想的檢測(cè)半導(dǎo)體器件的工具，支持3種激光波長(zhǎng)，可在半導(dǎo)體和液晶基板中使用激光切割和薄膜技術(shù)。可以廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子、冶金等行業(yè)的制造和研究領(lǐng)域。
描述
●人機(jī)工程頭部
PSM-1000E雙目觀察頭可以在3°-30°轉(zhuǎn)動(dòng)，調(diào)整觀察眼點(diǎn)的高度和觀察方向，使操作者的使用更加舒適。
●管鏡
PSM-1000的管鏡轉(zhuǎn)盤上裝有1X NUV、1X NIR和2X 管鏡，三組管鏡之間可以根據(jù)需要進(jìn)行切換，切換簡(jiǎn)單、方便。其中1X NUV對(duì)355nm和532nm波長(zhǎng)進(jìn)行了優(yōu)化，1X NIR對(duì)532nm和1064nm波長(zhǎng)進(jìn)行了優(yōu)化，當(dāng)使用這3個(gè)波長(zhǎng)的激光器時(shí)，可以得到更好的激光透過率。
●光路切換拉桿
通過推拉光路轉(zhuǎn)換拉桿可以方便的對(duì)光路進(jìn)行切換。當(dāng)轉(zhuǎn)換拉桿往外拉時(shí)，雙目頭和攝像接口的分光比為0：100，此時(shí)從攝像接口上入射的激光100%的進(jìn)入光路，了激光效率；當(dāng)轉(zhuǎn)換器拉桿往里推時(shí)，雙目頭和攝像接口的分光比為50：50，此時(shí)即可用雙目頭觀察，同時(shí)也可以在攝像接口上使用CCD攝像頭或激光器。
●偏光觀察
主體上留有偏光插孔，插上偏光附件（選配件），可進(jìn)行偏光觀察。
●調(diào)焦機(jī)構(gòu)
PSM-1000的調(diào)焦機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)舒適，工作。調(diào)焦機(jī)構(gòu)可承載45磅（20.4Kg），安裝激光器和CCD攝像頭后，仍然能夠正常工作。
●轉(zhuǎn)換器
PSM-1000采用4孔可調(diào)中轉(zhuǎn)換器，使用隨機(jī)配送的調(diào)中鑰匙，可以很方便地調(diào)整物鏡的齊中。
●物鏡
PSM-1000采用長(zhǎng)工作距離的無應(yīng)力平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡，提供了優(yōu)異的成像質(zhì)量。關(guān)于物鏡的具體參數(shù)請(qǐng)參照APO物鏡樣本。
●數(shù)碼攝像系統(tǒng)
根據(jù)所使用的CCD攝像機(jī)的CCD尺寸，選擇合適的攝像接頭，安裝在攝像接口上，組成數(shù)碼攝像系統(tǒng)，就可以在電腦、電視或器上同步觀察。
●照明系統(tǒng)
采用同軸垂直照明系統(tǒng)，光源采用外置冷光源。長(zhǎng)達(dá)2m的照明光纖和光源遙控器（選配件）給PSM-1000帶來更自由的操作空間。
●探測(cè)工作站
PSM-1000的主體部分可以安裝在探測(cè)工作站上，進(jìn)行硅片的測(cè)試。
●激光裝置
PSM-1000的攝像接口處裝有激光定位銷，雙目頭前留有安裝激光濾的位置，并提供補(bǔ)償墊片。無需的激光工具箱，就可以方便的把激光器和激光濾安裝上。
注：在安裝和使用激光器之前，請(qǐng)您仔細(xì)閱讀激光器和激光濾的使用手冊(cè)。由于在PSM-1000上使用激光器和激光濾而產(chǎn)生的和性能問題，麥克奧迪實(shí)業(yè)集團(tuán)有限公司對(duì)此概不負(fù)責(zé)。
規(guī)格說明
PSM-1000主要技術(shù)參數(shù)
鉸鏈?zhǔn)饺款^ 圖像 正像
瞳距 調(diào)節(jié)范圍 55-75mm
視場(chǎng)直徑 24mm
分光比 可通過光路切換拉桿自由切換（雙目頭：第三目＝100：0或50：50）
主體 管鏡 1X（可對(duì)紫外及進(jìn)行優(yōu)化），2X
激光的使用 拉出光路切換拉桿即可
可應(yīng)用的激光 1064/532/355 nm NWR laser
調(diào)焦機(jī)構(gòu) 粗微調(diào)手輪 調(diào)焦行程：50mm；粗動(dòng)手輪4mm/轉(zhuǎn)；微動(dòng)手輪0.1mm/轉(zhuǎn)
調(diào)焦機(jī)構(gòu)承重量 20.5kg
攝像接頭 C-Mount接頭
照明系統(tǒng) 同軸垂直照明，可變孔徑光欄
冷光源（選配） 150W冷光源照明器及工業(yè)顯微鏡光纖（2m）
物鏡轉(zhuǎn)換器 四孔物鏡轉(zhuǎn)換器，中心可調(diào)，可拆卸
物鏡（選配） 長(zhǎng)工作距離平復(fù)消色差物鏡 2X，5X，10X，20X，50X
長(zhǎng)工作距離復(fù)消色差物鏡 50X，100X
可調(diào)焦長(zhǎng)工作距離復(fù)消色差物鏡 2X，5X，10X，20X，50X
可調(diào)焦工作距離復(fù)消色差物鏡 50X，100X
NIR長(zhǎng)工作距離復(fù)消色差物鏡 20X，50X
重量 主體：6.8kg；冷光源照明器：2.5kg
的一體化設(shè)計(jì)，具有優(yōu)異的光學(xué)成像質(zhì)量，方便使用的正像光學(xué)系統(tǒng)，是理想的檢測(cè)半導(dǎo)體器件的工具，支持3種激光波長(zhǎng)，可在半導(dǎo)體和液晶基板中使用激光切割和薄膜技術(shù)。可以廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子、冶金等行業(yè)的制造和研究領(lǐng)域。
描述
●人機(jī)工程頭部
PSM-1000E雙目觀察頭可以在3°-30°轉(zhuǎn)動(dòng)，調(diào)整觀察眼點(diǎn)的高度和觀察方向，使操作者的使用更加舒適。
●管鏡
PSM-1000的管鏡轉(zhuǎn)盤上裝有1X NUV、1X NIR和2X 管鏡，三組管鏡之間可以根據(jù)需要進(jìn)行切換，切換簡(jiǎn)單、方便。其中1X NUV對(duì)355nm和532nm波長(zhǎng)進(jìn)行了優(yōu)化，1X NIR對(duì)532nm和1064nm波長(zhǎng)進(jìn)行了優(yōu)化，當(dāng)使用這3個(gè)波長(zhǎng)的激光器時(shí)，可以得到更好的激光透過率。
●光路切換拉桿
通過推拉光路轉(zhuǎn)換拉桿可以方便的對(duì)光路進(jìn)行切換。當(dāng)轉(zhuǎn)換拉桿往外拉時(shí)，雙目頭和攝像接口的分光比為0：100，此時(shí)從攝像接口上入射的激光100%的進(jìn)入光路，了激光效率；當(dāng)轉(zhuǎn)換器拉桿往里推時(shí)，雙目頭和攝像接口的分光比為50：50，此時(shí)即可用雙目頭觀察，同時(shí)也可以在攝像接口上使用CCD攝像頭或激光器。
●偏光觀察
主體上留有偏光插孔，插上偏光附件（選配件），可進(jìn)行偏光觀察。
●調(diào)焦機(jī)構(gòu)
PSM-1000的調(diào)焦機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)舒適，工作。調(diào)焦機(jī)構(gòu)可承載45磅（20.4Kg），安裝激光器和CCD攝像頭后，仍然能夠正常工作。
●轉(zhuǎn)換器
PSM-1000采用4孔可調(diào)中轉(zhuǎn)換器，使用隨機(jī)配送的調(diào)中鑰匙，可以很方便地調(diào)整物鏡的齊中。
●物鏡
PSM-1000采用長(zhǎng)工作距離的無應(yīng)力平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡，提供了優(yōu)異的成像質(zhì)量。關(guān)于物鏡的具體參數(shù)請(qǐng)參照APO物鏡樣本。
●數(shù)碼攝像系統(tǒng)
根據(jù)所使用的CCD攝像機(jī)的CCD尺寸，選擇合適的攝像接頭，安裝在攝像接口上，組成數(shù)碼攝像系統(tǒng)，就可以在電腦、電視或器上同步觀察。
●照明系統(tǒng)
采用同軸垂直照明系統(tǒng)，光源采用外置冷光源。長(zhǎng)達(dá)2m的照明光纖和光源遙控器（選配件）給PSM-1000帶來更自由的操作空間。
●探測(cè)工作站
PSM-1000的主體部分可以安裝在探測(cè)工作站上，進(jìn)行硅片的測(cè)試。
●激光裝置
PSM-1000的攝像接口處裝有激光定位銷，雙目頭前留有安裝激光濾的位置，并提供補(bǔ)償墊片。無需的激光工具箱，就可以方便的把激光器和激光濾安裝上。
注：在安裝和使用激光器之前，請(qǐng)您仔細(xì)閱讀激光器和激光濾的使用手冊(cè)。由于在PSM-1000上使用激光器和激光濾而產(chǎn)生的和性能問題，麥克奧迪實(shí)業(yè)集團(tuán)有限公司對(duì)此概不負(fù)責(zé)。
規(guī)格說明
PSM-1000主要技術(shù)參數(shù)
鉸鏈?zhǔn)饺款^ 圖像 正像
瞳距 調(diào)節(jié)范圍 55-75mm
視場(chǎng)直徑 24mm
分光比 可通過光路切換拉桿自由切換（雙目頭：第三目＝100：0或50：50）
主體 管鏡 1X（可對(duì)紫外及進(jìn)行優(yōu)化），2X
激光的使用 拉出光路切換拉桿即可
可應(yīng)用的激光 1064/532/355 nm NWR laser
調(diào)焦機(jī)構(gòu) 粗微調(diào)手輪 調(diào)焦行程：50mm；粗動(dòng)手輪4mm/轉(zhuǎn)；微動(dòng)手輪0.1mm/轉(zhuǎn)
調(diào)焦機(jī)構(gòu)承重量 20.5kg
攝像接頭 C-Mount接頭
照明系統(tǒng) 同軸垂直照明，可變孔徑光欄
冷光源（選配） 150W冷光源照明器及工業(yè)顯微鏡光纖（2m）
物鏡轉(zhuǎn)換器 四孔物鏡轉(zhuǎn)換器，中心可調(diào)，可拆卸
物鏡（選配） 長(zhǎng)工作距離平復(fù)消色差物鏡 2X，5X，10X，20X，50X
長(zhǎng)工作距離復(fù)消色差物鏡 50X，100X
可調(diào)焦長(zhǎng)工作距離復(fù)消色差物鏡 2X，5X，10X，20X，50X
可調(diào)焦工作距離復(fù)消色差物鏡 50X，100X
NIR長(zhǎng)工作距離復(fù)消色差物鏡 20X，50X
重量 主體：6.8kg；冷光源照明器：2.5kg
