001，002和 003A 型質(zhì)量流量控制閥門(mén)都是常閉的比例控制閥門(mén)，可應(yīng)用在從0-5sccm 到 0-500 slpm 氮?dú)饬砍讨?。?dāng)它與質(zhì)量流量計(jì)結(jié)合使用時(shí)，就可構(gòu)成一個(gè)閉合回路控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)允許單獨(dú)組件配置（流量計(jì)和控制閥門(mén)）。
　　
　　001型，002型，003A 型質(zhì)量流量控制閥門(mén)技術(shù)參數(shù)
　　流量范圍＊：從 0-5SCCM 到 0-500SLPM
　　環(huán)境和操作溫度：-10～70℃（14～158℉）
　　操作壓力：1000PSIG（6.9 MPa），具體請(qǐng)參考表一
　　安裝方向：對(duì)位置不敏感
　　額定工作電壓：4-11VDC（ 24VDC）
　　額定工作電流：150mADC（ 275 mADC）
　　閥線圈電阻：80&plun;4Ω（001型和003A 型）；63&plun;3Ω（002型）
　　重量：請(qǐng)參考表一
　　結(jié)構(gòu)材質(zhì)
　　主體：316不銹鋼
　　孔：316不銹鋼
　　閥組件（接液）：001型：302SS，316SS，430FSS，Sandvik？1802
　　002型：302SS，316SS，Sandvik1802
　　003A 型：302SS，316SS，430FSS，Sandvik1802
　　密封材質(zhì)（”O(jiān)”型環(huán)和閥座）：001型：Buna N，EPDM，Kalrez，Neoprene，
　　Viton
　　002型：Buna N，EPDM，Kalrez，Neoprene，Viton
　　003A 型：Buna N，Viton
　　＊注：上述流量范圍反映的是氮?dú)鈽?biāo)定下產(chǎn)生的小流量和流量，可采用其它介質(zhì)
　　的流量范圍，當(dāng)操作參數(shù)有疑問(wèn)時(shí)為了選型，請(qǐng)咨詢(xún)廠家。