1.測量范圍:X=800mm,Y=1000mm,Z=600mm
2.空間測量示值誤差:E≤2.9+L/250µm
3.探測誤差:R≤2.9µm
4.分辨率:0.5µm
5.運動速度:400mm/s
6.承受重量:1000kg
7.儀器重量:1700kg
8.外型尺寸:2080mm×1600mm×2760mm
9.環(huán)境要求:
溫度范圍:20&plun;2℃,0.5℃/h,<1&#61616;C/24h
氣源壓力:0.6MPa~0.8MPa,200L/min(0.4MPa)
濕度范圍:30%-70%
電源:220V&plun;10%,50Hz
功率:1KV
地面振動:振動頻率≤10 Hz 振幅≤0.5μm
10 Hz<振動頻率≤30 Hz 振幅≤1μm
振動頻率≥30 Hz 振幅≤3μm