試樣室掃描電鏡（LC-SEM）
MIRA試樣室掃描電鏡（LC-SEM）。作為世界上的一種掃描電鏡，自從195年推出后，它已得到廣泛應(yīng)用。并已開(kāi)發(fā)出各種不同的探測(cè)設(shè)備來(lái)滿足不同的需求。是FIB和FTIR提供了準(zhǔn)確的，直到在分子層面的分析。LC–SEM適用于研究和開(kāi)發(fā)。
使用掃描電子顯微鏡時(shí)在材料科學(xué)中面臨的挑戰(zhàn)之一是被測(cè)樣品的大小限制。通常情況下，只能對(duì)直徑在數(shù)十到數(shù)百百毫米小的樣本進(jìn)行研究。這限制了可以使用這一重要測(cè)試技術(shù)分析的樣品。MIRA試樣室掃描電鏡（LC-SEM）克服了這一點(diǎn)，并廣泛應(yīng)用在非破壞性試驗(yàn)中。其真空室尺寸和光學(xué)系統(tǒng)擴(kuò)展視圖功能多可容納至直徑1500m的樣品。
LC-SEM 真空室和真空系統(tǒng)
LC-SEM試樣室有 3 m3、9 m3、12 m3三種型號(hào)，可：直徑1500毫米、高度1500毫米。真空系統(tǒng)裝配有強(qiáng)大的三個(gè)泵：旋片和轉(zhuǎn)子泵應(yīng)用于低真空，渦輪增壓泵應(yīng)用于高真空，可實(shí)現(xiàn) 10-6 mbar的高真空。該系統(tǒng)有的能力，除去腔室中試樣的氣體，在45分鐘內(nèi)便可以實(shí)現(xiàn)所需的真空度。設(shè)置有多層墻體，腔室設(shè)計(jì)還了不受任何外部磁場(chǎng)的影響。
的定位系統(tǒng)
如果一個(gè)人觀察一個(gè)小的對(duì)象，他們將扭轉(zhuǎn)對(duì)象，人眼-可視化系統(tǒng)-是固定的。當(dāng)觀察一個(gè)更大的物體時(shí)，人會(huì)在物體周圍左右移動(dòng)，以便觀察它。種情況是類似于標(biāo)準(zhǔn)SEM的情況，而后者則反映了LC-SEM的情況。
LC-SEM 配備了定位系統(tǒng)，通過(guò)移動(dòng)電子和探測(cè)器以及完整的光學(xué)系統(tǒng)可以滿足同角度的視角觀察。裝有一個(gè)5＋1旋轉(zhuǎn)軸系統(tǒng)，并可移動(dòng)樣品，減少了裝載周期數(shù)。
成像和分析能力
通過(guò)裝備的電子，LC-SEM有能力提供高于10nm的分辨率和30的圖像放大能力，加上強(qiáng)大的二次反射電鏡的通道探測(cè)器，整個(gè)系統(tǒng)通過(guò)多個(gè)運(yùn)行系統(tǒng)圖像的質(zhì)量。阻尼系統(tǒng)可以外部振動(dòng)影響系統(tǒng)，同時(shí)電子和探測(cè)器有一個(gè)的冷卻循環(huán)系統(tǒng)。
100％的計(jì)算機(jī)控制
MIRA和它的部件都控制使用Microsoft Windows的軟件。
擴(kuò)展功能
分析系統(tǒng)
通過(guò)分析系統(tǒng)的集成，在腔室的真空環(huán)境下，通過(guò)能量發(fā)散X射線光譜儀（EDS）和電子背散射衍射系統(tǒng)（EBSD），LC-SEM擁有生成完整的測(cè)試結(jié)果的能力。
LC-SEM也可以配置聚焦離子束（FIB）和傅立葉變換紅外光譜儀（FT-IR）實(shí)現(xiàn)其擴(kuò)展功能。
除了研究大樣本，LC–SEM還可應(yīng)用于在材料的變形行為的原位觀測(cè)以及在微系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域生產(chǎn)過(guò)程的現(xiàn)場(chǎng)觀測(cè)中。
大試樣掃描電鏡也使得它可以執(zhí)行“中斷監(jiān)控”較大的工程部件的實(shí)驗(yàn)。例如，測(cè)試高壓泵的高負(fù)荷部件摩擦特性，可以通過(guò)進(jìn)行中斷監(jiān)控來(lái)研究。這些部件在正常工作一段時(shí)期后，可在 LC–SEM 中觀察研究，之后可以再立即工作，從而得到不同階段的摩擦特性。這種監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的方式將打開(kāi)一個(gè)不同的、廣闊的工程應(yīng)用領(lǐng)域，使得我們能夠獲得更密切和更詳細(xì)的對(duì)磨合和破壞過(guò)程的了解。
在LC-SEM內(nèi)的疲勞試驗(yàn)
為了滿足評(píng)估原位變形特性研究的需要，將一個(gè)機(jī)械液壓疲勞測(cè)試框架融入到了腔室中，可以在LC-SEM中執(zhí)行疲勞測(cè)試。
在這種聯(lián)合測(cè)試中，不能確定材料過(guò)載臨界點(diǎn)，而且裂紋也能被觀察和研究，晶體材料的特性能在執(zhí)行疲勞試驗(yàn)后進(jìn)行研究，由此顯微鏡轉(zhuǎn)換成了一個(gè)完整的測(cè)試設(shè)備，能提供完整的測(cè)試結(jié)果。該系統(tǒng)能使研究人員記錄材料裂紋聚集之前的結(jié)構(gòu)變化，同時(shí)能夠觀察微觀結(jié)構(gòu)對(duì)初期裂紋擴(kuò)展的影響。該系統(tǒng)還設(shè)計(jì)有一個(gè)節(jié)點(diǎn)控制機(jī)制，允許感興趣的點(diǎn)留在視野當(dāng)中。本機(jī)的優(yōu)異的穩(wěn)定性，能夠疲勞-開(kāi)裂現(xiàn)象的原位研究。
應(yīng)用行業(yè)
汽車
航空、航天
軍事與國(guó)
文化與考古
半導(dǎo)體和電子元件
醫(yī)藥與生物材料
法
材料科學(xué)
應(yīng)用領(lǐng)域
非破壞性檢測(cè)
原位分析
故障分析
研究與開(kāi)發(fā)
MIRA試樣室掃描電鏡（LC-SEM）。作為世界上的一種掃描電鏡，自從195年推出后，它已得到廣泛應(yīng)用。并已開(kāi)發(fā)出各種不同的探測(cè)設(shè)備來(lái)滿足不同的需求。是FIB和FTIR提供了準(zhǔn)確的，直到在分子層面的分析。LC–SEM適用于研究和開(kāi)發(fā)。
使用掃描電子顯微鏡時(shí)在材料科學(xué)中面臨的挑戰(zhàn)之一是被測(cè)樣品的大小限制。通常情況下，只能對(duì)直徑在數(shù)十到數(shù)百百毫米小的樣本進(jìn)行研究。這限制了可以使用這一重要測(cè)試技術(shù)分析的樣品。MIRA試樣室掃描電鏡（LC-SEM）克服了這一點(diǎn)，并廣泛應(yīng)用在非破壞性試驗(yàn)中。其真空室尺寸和光學(xué)系統(tǒng)擴(kuò)展視圖功能多可容納至直徑1500m的樣品。
LC-SEM 真空室和真空系統(tǒng)
LC-SEM試樣室有 3 m3、9 m3、12 m3三種型號(hào)，可：直徑1500毫米、高度1500毫米。真空系統(tǒng)裝配有強(qiáng)大的三個(gè)泵：旋片和轉(zhuǎn)子泵應(yīng)用于低真空，渦輪增壓泵應(yīng)用于高真空，可實(shí)現(xiàn) 10-6 mbar的高真空。該系統(tǒng)有的能力，除去腔室中試樣的氣體，在45分鐘內(nèi)便可以實(shí)現(xiàn)所需的真空度。設(shè)置有多層墻體，腔室設(shè)計(jì)還了不受任何外部磁場(chǎng)的影響。
的定位系統(tǒng)
如果一個(gè)人觀察一個(gè)小的對(duì)象，他們將扭轉(zhuǎn)對(duì)象，人眼-可視化系統(tǒng)-是固定的。當(dāng)觀察一個(gè)更大的物體時(shí)，人會(huì)在物體周圍左右移動(dòng)，以便觀察它。種情況是類似于標(biāo)準(zhǔn)SEM的情況，而后者則反映了LC-SEM的情況。
LC-SEM 配備了定位系統(tǒng)，通過(guò)移動(dòng)電子和探測(cè)器以及完整的光學(xué)系統(tǒng)可以滿足同角度的視角觀察。裝有一個(gè)5＋1旋轉(zhuǎn)軸系統(tǒng)，并可移動(dòng)樣品，減少了裝載周期數(shù)。
成像和分析能力
通過(guò)裝備的電子，LC-SEM有能力提供高于10nm的分辨率和30的圖像放大能力，加上強(qiáng)大的二次反射電鏡的通道探測(cè)器，整個(gè)系統(tǒng)通過(guò)多個(gè)運(yùn)行系統(tǒng)圖像的質(zhì)量。阻尼系統(tǒng)可以外部振動(dòng)影響系統(tǒng)，同時(shí)電子和探測(cè)器有一個(gè)的冷卻循環(huán)系統(tǒng)。
100％的計(jì)算機(jī)控制
MIRA和它的部件都控制使用Microsoft Windows的軟件。
擴(kuò)展功能
分析系統(tǒng)
通過(guò)分析系統(tǒng)的集成，在腔室的真空環(huán)境下，通過(guò)能量發(fā)散X射線光譜儀（EDS）和電子背散射衍射系統(tǒng)（EBSD），LC-SEM擁有生成完整的測(cè)試結(jié)果的能力。
LC-SEM也可以配置聚焦離子束（FIB）和傅立葉變換紅外光譜儀（FT-IR）實(shí)現(xiàn)其擴(kuò)展功能。
除了研究大樣本，LC–SEM還可應(yīng)用于在材料的變形行為的原位觀測(cè)以及在微系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域生產(chǎn)過(guò)程的現(xiàn)場(chǎng)觀測(cè)中。
大試樣掃描電鏡也使得它可以執(zhí)行“中斷監(jiān)控”較大的工程部件的實(shí)驗(yàn)。例如，測(cè)試高壓泵的高負(fù)荷部件摩擦特性，可以通過(guò)進(jìn)行中斷監(jiān)控來(lái)研究。這些部件在正常工作一段時(shí)期后，可在 LC–SEM 中觀察研究，之后可以再立即工作，從而得到不同階段的摩擦特性。這種監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的方式將打開(kāi)一個(gè)不同的、廣闊的工程應(yīng)用領(lǐng)域，使得我們能夠獲得更密切和更詳細(xì)的對(duì)磨合和破壞過(guò)程的了解。
在LC-SEM內(nèi)的疲勞試驗(yàn)
為了滿足評(píng)估原位變形特性研究的需要，將一個(gè)機(jī)械液壓疲勞測(cè)試框架融入到了腔室中，可以在LC-SEM中執(zhí)行疲勞測(cè)試。
在這種聯(lián)合測(cè)試中，不能確定材料過(guò)載臨界點(diǎn)，而且裂紋也能被觀察和研究，晶體材料的特性能在執(zhí)行疲勞試驗(yàn)后進(jìn)行研究，由此顯微鏡轉(zhuǎn)換成了一個(gè)完整的測(cè)試設(shè)備，能提供完整的測(cè)試結(jié)果。該系統(tǒng)能使研究人員記錄材料裂紋聚集之前的結(jié)構(gòu)變化，同時(shí)能夠觀察微觀結(jié)構(gòu)對(duì)初期裂紋擴(kuò)展的影響。該系統(tǒng)還設(shè)計(jì)有一個(gè)節(jié)點(diǎn)控制機(jī)制，允許感興趣的點(diǎn)留在視野當(dāng)中。本機(jī)的優(yōu)異的穩(wěn)定性，能夠疲勞-開(kāi)裂現(xiàn)象的原位研究。
應(yīng)用行業(yè)
汽車
航空、航天
軍事與國(guó)
文化與考古
半導(dǎo)體和電子元件
醫(yī)藥與生物材料
法
材料科學(xué)
應(yīng)用領(lǐng)域
非破壞性檢測(cè)
原位分析
故障分析
研究與開(kāi)發(fā)
