Aerostat FPD的設(shè)計(jì),使其本能地0+/-10V離子平衡,免除保養(yǎng)調(diào)整的煩腦,對靜電破壞敏感的組件,提供的保護(hù)。合乎Cl 100 Cleanroom的要求。Aerostat FPD所用的風(fēng)扇是Silicon-free潤滑轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì),并經(jīng)過塵粒產(chǎn)生測試合乎Cl 100塵粒規(guī)限,其它相關(guān)部件皆是Silicon-free.
內(nèi)置靜電針清潔擦,簡化保養(yǎng)程序。