SRP-4面銅探頭測試技術(shù)參數(shù)
于Oxford牛津CMI760（CMI700）座臺式孔面銅測厚儀
銅厚測量范圍：
化學(xué)銅：10μin–500μin（0.25μm–12.7μm）
電鍍銅：0.1 mil–6 mil（2.5μm–152μm）
線形銅可測試線寬范圍：8 mil–250 mil（203μm–6350μm）
準(zhǔn)確度：±1%（±0.1μm）參考標(biāo)準(zhǔn)片
度：化學(xué)銅：標(biāo)準(zhǔn)差0.2%；電鍍銅：標(biāo)準(zhǔn)差0.5%
分辨率：0.01 mils≥1 mil，0.001 mils<1 mil，0.1μm≥10μm，0.01μm<10μm，0.001μm<1μm
于Oxford牛津CMI760（CMI700）座臺式孔面銅測厚儀
銅厚測量范圍：
化學(xué)銅：10μin–500μin（0.25μm–12.7μm）
電鍍銅：0.1 mil–6 mil（2.5μm–152μm）
線形銅可測試線寬范圍：8 mil–250 mil（203μm–6350μm）
準(zhǔn)確度：±1%（±0.1μm）參考標(biāo)準(zhǔn)片
度：化學(xué)銅：標(biāo)準(zhǔn)差0.2%；電鍍銅：標(biāo)準(zhǔn)差0.5%
分辨率：0.01 mils≥1 mil，0.001 mils<1 mil，0.1μm≥10μm，0.01μm<10μm，0.001μm<1μm
