藍(lán)寶石X射線晶體定向儀針對單晶硅、藍(lán)寶石、砷化稼等多種晶體設(shè)計(jì)，主要用于晶圓片、晶棒的測量。
YX-2D6通用型配置如下：（適用晶片、晶棒）
1、一側(cè)GA測角儀能測晶體Φ2---Φ6英寸晶圓片；111，100，211等角度；能測晶棒參考面110；OF等角度。藍(lán)寶石A，C，R面等角度。
2、另一側(cè)GC測角儀能測Φ2---Φ6英寸晶圓片111，100，211等角度；能測晶棒Φ2---Φ6英寸，400㎜長晶棒端面 111，100等角度。藍(lán)寶石A，C，R面等角度。
YX-2D6通用型配置如下：（適用晶片、晶棒）
1、一側(cè)GA測角儀能測晶體Φ2---Φ6英寸晶圓片；111，100，211等角度；能測晶棒參考面110；OF等角度。藍(lán)寶石A，C，R面等角度。
2、另一側(cè)GC測角儀能測Φ2---Φ6英寸晶圓片111，100，211等角度；能測晶棒Φ2---Φ6英寸，400㎜長晶棒端面 111，100等角度。藍(lán)寶石A，C，R面等角度。
其他說明
| X 射線管 | 銅靶,陽接地,強(qiáng)迫風(fēng)冷 |
| 管電壓 | 30KVP,全壓合閘 |
| 管電流 | 0-5mA,連續(xù)可調(diào) |
| 整機(jī)功率 | 交流220V 不大于0.3KW |
| 綜合 | &plun;30″ |
| 角度數(shù)字顯示 | 以度,分,秒顯示,小讀數(shù)10″ |
| 計(jì)數(shù)器旋轉(zhuǎn)角度 | 2θ角-10°------+110° |
| 樣品晶體旋轉(zhuǎn)角度 | θ角-10°------+55° |
| 計(jì)數(shù)管 | 蓋革計(jì)數(shù)管,工作電壓500-----1100V |
| 時(shí)間常數(shù) | 分0.1,0.4,3秒三檔可調(diào) |
| 保 護(hù) | 高壓連鎖保護(hù),溫度保護(hù) |
| 狹 縫 | 4′,5′,6′ |
| 可測晶體重量 | 重30KG的晶棒 |
| 可測晶體直徑GA | Φ2-------Φ6 英寸晶圓片 |
| 可測晶棒長度GC | Φ2-------Φ6 英寸 ,400 毫米長晶棒 |
| 工作位 | 雙測角儀,雙工作臺 |
| 外型尺寸 | 1140mm*650mm*1030mm |
| 儀器重量 | 200KG |
