Spin-X小型智能微控制可編程勻膠機(jī)、實(shí)用型多功能臺(tái)式可編程涂覆儀、新一代實(shí)驗(yàn)用輕便型微控制旋涂?jī)x
Spin-X小型智能微控制可編程勻膠機(jī)也可叫做旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、涂層儀、旋涂儀、涂膜儀、涂覆儀、甩膠機(jī)等等。英文常寫(xiě)作Programmable Spin Coater
Spin-X 小型智能微控制可編程勻膠機(jī)是一款體積緊湊,臺(tái)式勻膠機(jī),可進(jìn)行精密薄膜沉積。
Spin-X小型智能微控制可編程勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體、化工材料、硅片、晶圓片、光學(xué)玻璃、化學(xué)玻璃等表面涂覆材質(zhì)
Spin-X小型智能微控制可編程勻膠機(jī)應(yīng)用范圍:
Spin-X小型智能微控制可編程勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體、化工材料、硅片、晶圓片、光學(xué)玻璃、化學(xué)玻璃等表面涂覆材質(zhì)
Spin-X小型智能微控制可編程勻膠機(jī)工作原理
Spin-X小型智能微控制可編程勻膠機(jī)采用旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。
Spin-X小型智能微控制可編程勻膠機(jī)可用做:
基礎(chǔ)及應(yīng)用粗飼料研究
材料表面、薄膜及鑄造件的非破壞性資料控制
半導(dǎo)體薄膜、金屬及玻璃
薄膜制備,光學(xué)鍍膜及磁膜
液固界面鍍膜
Spin-X小型智能微控制可編程勻膠機(jī)特點(diǎn):
原裝、簡(jiǎn)單快速、高轉(zhuǎn)速、高、緊湊、省時(shí)、、旋轉(zhuǎn)穩(wěn)定、控制、涂層(厚度)均勻
Spin-X小型智能微控制可編程勻膠機(jī)優(yōu)勢(shì):
用戶友好人機(jī)界面
操作簡(jiǎn)單快速
系統(tǒng)設(shè)備緊湊,節(jié)省寶貴的實(shí)驗(yàn)室空間
快速理想轉(zhuǎn)速
真空托盤(pán)的千分表指示
直徑8" 特氟龍涂層工作腔體
透明蓋,光刻膠溢出及基片飛出。
氮?dú)獗Wo(hù)設(shè)施
配套無(wú)油真空泵(選配)
Spin-X小型智能微控制可編程勻膠機(jī)技術(shù)規(guī)格:
1 微控制器控制 有
2 勻膠旋涂轉(zhuǎn)速范圍 100 R.P.M to 10,000 R.P.M
3 勻膠旋涂轉(zhuǎn)速 <1%
4 勻膠旋涂加速度 2000R.P.M/sec. ()
5 勻膠旋涂加速時(shí)間 1-9,999 sec/step
6 預(yù)設(shè)可編程程序 2 (10 steps/program)
7 非易失性存儲(chǔ)器保存選項(xiàng) 有
8 轉(zhuǎn)速 & 時(shí)間實(shí)時(shí)顯示 LCD 控制面板顯示
9 校準(zhǔn)選項(xiàng) 有
10 系統(tǒng)當(dāng)前狀態(tài)顯示 LCD 控制面板顯示
11 輸入及控制選項(xiàng) 鍵盤(pán)
12 集成式真空釋放開(kāi)關(guān) 有
13 集成式電源開(kāi)關(guān) 有
14 廢液排放設(shè)施 有
15 氮?dú)獗Wo(hù)設(shè)施 有
16 涂覆腔體 直徑8" 特氟龍涂層腔體
17 基片托盤(pán) 迭爾林(Delrin)材質(zhì)圓形基片托盤(pán): ?”, 1”, 1?”,
2” ;選配 3” & 4”(直徑托盤(pán))
18 設(shè)備尺寸 38cm(W) X 28cm(L) X 28cm(H)
19 設(shè)備電源 230 / 220V AC (50 Hz ~)
20 設(shè)備功率 150W
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