藍寶石晶棒X射線全自動定向粘料機采用2軸動態(tài)ω掃描技術(shù),對定向原子面進行精準全自動定向,并根據(jù)設(shè)定的角度補償值自動完成相應(yīng)的角度補償,結(jié)合精密執(zhí)行機構(gòu),了晶棒粘接的和穩(wěn)定性。
主要技術(shù)指標與要求
1、 定向原子面:藍寶石晶體的R面、C面。
2、 晶棒規(guī)格:2吋、4吋、6吋。
3 、晶棒長度:50~300 mm。
4、 晶棒重量: ≦10 Kg。
5、 接駁長度:500 mm。
6、 定向:≦+ / - 20″ 。
7、 粘接:≦+ / -60″ 。
8、 角度補償:+ / - 1 5′ 。