HT2000系列空氣質(zhì)量流量傳感器，該產(chǎn)品芯片由兩個(gè)熱偶堆和一個(gè)加熱電阻組成：熱偶堆對(duì)稱地分布在加熱電阻的上、下游；加熱電阻和熱偶堆的熱結(jié)處于一個(gè)隔熱底座上。加熱電阻對(duì)熱偶堆的熱結(jié)加熱，熱偶堆熱結(jié)和冷結(jié)之間的溫度梯度導(dǎo)致輸出電壓，即本征賽貝克效應(yīng)。
應(yīng)用領(lǐng)域
◆ 暖通空調(diào)和汽車工業(yè)上的質(zhì)量流量
◆ 呼吸器和通風(fēng)器
◆ 氣體分析儀
◆ 氣體標(biāo)定
性能
◆ 對(duì)低速和微差壓十分敏感
◆ 沒(méi)有輸出信號(hào)的偏移和偏移漂移
◆ 反應(yīng)速度快（小于10ms）
◆ 耐腐蝕性氣體，擦
◆ 耐振動(dòng)，耐高壓（15個(gè)以上大氣壓）
◆ 信號(hào)處理電路簡(jiǎn)單
優(yōu)勢(shì)
★ 熱偶堆測(cè)溫基于組成材料的本征塞貝克效應(yīng)。這種測(cè)溫方式除了具有靈敏度高，不受干擾的優(yōu)點(diǎn)外，還不像二管和三管測(cè)溫，需要外加偏壓，因而不產(chǎn)生輸出信號(hào)的偏移和偏移漂移，使測(cè)量變得簡(jiǎn)單。
★ 的隔熱底座設(shè)計(jì)不用薄膜和表面空穴。因此芯片可以承受強(qiáng)烈震動(dòng)，耐高壓，耐腐蝕，耐流體中顆粒的沖撞和磨損。
★ 適用于氣體流體。
性能參數(shù)
參數(shù) | 小 | 典型 | 大 | 單位 | ||||||||||||||||||||||||
流量范圍（刻度） | 1000 | sccm | ||||||||||||||||||||||||||
點(diǎn)漂移 | &plun;0.1 | mv | ||||||||||||||||||||||||||
輸出電壓漂移 | &plun;1 | %F.S | ||||||||||||||||||||||||||
重復(fù)性&遲滯 | 1 | %F.S | ||||||||||||||||||||||||||
加熱電流 | 6，恒電流 | mA | ||||||||||||||||||||||||||
加熱功率 | 95，恒功率 | mW | ||||||||||||||||||||||||||
加熱電阻 | 2570 | 2690 | 2810 | ohm | ||||||||||||||||||||||||
點(diǎn)溫漂 | 0.8 | %FS | ||||||||||||||||||||||||||
參考電阻溫度系數(shù) | -578 | Ppm/℃ | ||||||||||||||||||||||||||
上游熱偶堆輸出（空氣，25℃） | 149 | 165 | 171 | mV | 下游熱偶堆輸出（空氣，25℃） | 149 | 165 | 171 | mV | 工作溫度 | -10 | 80 | ℃ | 反應(yīng)時(shí)間 | ms | 過(guò) 壓 | ＞15（217） | Bar(psi) |
接線
1. Gnd 2.信號(hào)輸出:S+ 3.恒流源:6mA 4.信號(hào)輸出：S-
注：HT2000系列氣體質(zhì)量流量傳感器正向氣流方向被定義為從P2孔流向P1孔，并導(dǎo)致正的輸出，不要施加過(guò)10psi的力在2個(gè)測(cè)量空孔的每個(gè)方向上。
優(yōu)勢(shì)
★ 熱偶堆測(cè)溫基于組成材料的本征塞貝克效應(yīng)。這種測(cè)溫方式除了具有靈敏度高，不受干擾的優(yōu)點(diǎn)外，還不像二管和三管測(cè)溫，需要外加偏壓，因而不產(chǎn)生輸出信號(hào)的偏移和偏移漂移，使測(cè)量變得簡(jiǎn)單。
★ 的隔熱底座設(shè)計(jì)不用薄膜和表面空穴。因此芯片可以承受強(qiáng)烈震動(dòng)，耐高壓，耐腐蝕，耐流體中顆粒的沖撞和磨損。
★ 適用于氣體流體。
性能參數(shù)
參數(shù) | 小 | 典型 | 大 | 單位 | ||||||||||||||||||||||||
流量范圍（刻度） | 1000 | sccm | ||||||||||||||||||||||||||
點(diǎn)漂移 | &plun;0.1 | mv | ||||||||||||||||||||||||||
輸出電壓漂移 | &plun;1 | %F.S | ||||||||||||||||||||||||||
重復(fù)性&遲滯 | 1 | %F.S | ||||||||||||||||||||||||||
加熱電流 | 6，恒電流 | mA | ||||||||||||||||||||||||||
加熱功率 | 95，恒功率 | mW | ||||||||||||||||||||||||||
加熱電阻 | 2570 | 2690 | 2810 | ohm | ||||||||||||||||||||||||
點(diǎn)溫漂 | 0.8 | %FS | ||||||||||||||||||||||||||
參考電阻溫度系數(shù) | -578 | Ppm/℃ | ||||||||||||||||||||||||||
上游熱偶堆輸出（空氣，25℃） | 149 | 165 | 171 | mV | 下游熱偶堆輸出（空氣，25℃） | 149 | 165 | 171 | mV | 工作溫度 | -10 | 80 | ℃ | 反應(yīng)時(shí)間 | ms | 過(guò) 壓 | ＞15（217） | Bar(psi) |
接線
1. Gnd 2.信號(hào)輸出:S+ 3.恒流源:6mA 4.信號(hào)輸出：S-
注：HT2000系列氣體質(zhì)量流量傳感器正向氣流方向被定義為從P2孔流向P1孔，并導(dǎo)致正的輸出，不要施加過(guò)10psi的力在2個(gè)測(cè)量空孔的每個(gè)方向上。
