SRP-4面銅探頭測試技術(shù)參數(shù):
銅厚測量范圍如下:
化學(xué)銅:10 μin – 500 μin (0.25 μm – 12.7 μm)
電鍍銅:0.1 mil – 6 mil (2.5 μm – 152 μm)
線形銅可測試線寬范圍:8 mil – 250 mil (203 μm – 6350 μm)
準確度:&plun;1% (&plun;0.1 μm)參考標準片
度:化學(xué)銅:標準差0.2 %;電鍍銅:標準差0.5 %
分辨率:0.01 mils ≥ 1 mil, 0.001 mils <1 mil,
0.1 μm ≥ 10 μm, 0.01 μm < 10 μm, 0.001 μm < 1 μm