| X軸 |
| 測(cè)量范圍： | 100mm或200mm |
| 分辨率： | 0.05μm |
| 檢測(cè)方法： | 線性編碼器 |
| 驅(qū)動(dòng)速度： | 0-80mm/s外加手動(dòng) |
| 測(cè)量速度： | 0.02-5mm/s |
| 測(cè)量方向： | 向前/向后 |
| 直線度： | 0.8μm/100inch,2μm/200mm;以X軸為水平方向上 |
| 指示(20°C時(shí))： | &plun;(1+0.01L)μm(CV-3100S4,H4,W4) |
| &plun;(0.8+0.01L)μm(CV-4100S4,H4,W4) |
| &plun;(1+0.02L)μm(CV-3100S8,H8,W8) |
| &plun;(0.8+0.02L)μm(CV-4100S4,H8,W8) |
| *L=驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度(mm) |
| 傾斜范圍： | &plun;45° |
| Z1軸(立柱,用于CV-2000) |
| 垂直移動(dòng)： | 300mm或500mm |
| 分辨率： | 1μm |
| 檢測(cè)方法： | ABSOLUTE線性編碼器 |
| 驅(qū)動(dòng)速度： | 0-20mm/s外加手動(dòng) |
| Z1軸(檢測(cè)器) |
| 測(cè)量范圍： | &plun;25mm |
| 分辨率： | 0.2μm(CV-3100),0.05μm(CV-4100) |
| 檢測(cè)方法： | 線性編碼器(CV-3100),激光全息測(cè)微機(jī)(CV-4100) |
| 指示(20°C時(shí))： | &plun;(2+|4H|/100)μm(CV-3100) |
| &plun;(0.8+|0.5H|/25)μm(CV-4100) |
| *H為水平位置上的測(cè)量高度(mm) |
| 測(cè)針上/下運(yùn)作： | 弧形運(yùn)動(dòng) |
| 測(cè)針方向： | 向下 |
| 測(cè)力： | 30mN |
| 跟蹤角度： | 向上:77°,向下:87°(根據(jù)表面粗糙度，使用標(biāo)準(zhǔn)單切面測(cè)針) |
| 測(cè)針針尖： | 半徑:25μm,硬質(zhì)合金針尖 |
| 基座尺寸(WxH)： | 600x450mm或1000x450mm |
| 基座材料： | 花崗巖 |
| 重量 | 5kg(CV-1000N2),115.8kg(CV-2000M4),124kg(CV-2000S4) |
| 主機(jī)： | 140kg(S4),150kg(H4),220kg(W4),140kg(S8),150kg(H8),220kg(W8) |
| 控制裝置： | 14kg |
| 遙控箱： | 0.9kg |
| 電源： | 100-240VAC&plun;10%,50/60HZ |
| 電源： | 400W(限主機(jī)) |
