日本三豐518 系列高度儀Linear Height,2D 測量系統(tǒng),分辨率／重復為0.1/0.5μm 時，可(1.3+0.6L/600)μm。垂直度(前部) 達6μm，直線度達4μm。全／半空氣浮動系統(tǒng)可調(diào)節(jié)氣墊。帶有基本統(tǒng)計功能， 另外，通過RS-232C數(shù)據(jù)輸出與帶有SPC 軟件的電腦相連，可實現(xiàn)外部測量數(shù)據(jù)評估。半自動測量時具有單鍵操作功能。
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